[发明专利]一种MEMS加速度计及其形成方法

权利要求书

1.一种MEMS加速度计，其特征在于，包括：

衬底（1）；

第一检验质量块（2）以及第二检验质量块（3），分别弹性悬设于所述衬底（1）上，所述第二检验质量块（3）呈周向连接设置于所述第一检验质量块（2）外，所述第一检验质量块（2）包括主部（21）以及次部（22），所述主部（21）的水平截面积大于所述次部（22）的水平截面积；

感测梳，设有四组，分别设置于所述第二检验质量块（3）的四侧，每组所述感测梳包括移动梳（41）和固定梳（42），所述固定梳（42）与所述移动梳（41）相互交叉形成叉指结构，且沿着平行于其所在侧对应的所述第二检验质量块（3）边长的方向延伸，所述固定梳（42）固定设置于所述衬底（1）上，各所述移动梳（41）与所述第二检验质量块（3）的对应各侧面弹性连接，所述移动梳（41）弹性连接于所述衬底（1）上；

第一固定平面电极（51）和第二固定平面电极（52），分别固定设置于所述衬底（1）上，所述第一固定平面电极（51）位于所述主部（21）下方，所述第二固定平面电极（52）位于所述次部（22）下方。

2.如权利要求1所述的MEMS加速度计，其特征在于，所述MEMS加速度计还包括两个扭力杆（6），各所述扭力杆（6）均设置于所述主部（21）和所述次部（22）之间，所述第一检验质量块（2）通过两个所述扭力杆（6）悬挂于所述衬底（1）上，各所述扭力杆（6）远离所述第一检验质量块（2）的一端与所述第二检验质量块（3）连接。

3.如权利要求1所述的MEMS加速度计，其特征在于，所述MEMS加速度计还包括将所述第二检验质量块（3）弹性悬设于所述衬底（1）上的固定组件，所述固定组件包括第一弹性悬架（71）、第二弹性悬架（72）以及锚固件（8），所述第一弹性悬架（71）一侧与所述第二检验质量块（3）弹性连接，另一侧与所述移动梳（41）弹性连接，所述第二弹性悬架（72）一侧与所述移动梳（41）弹性连接，另一侧与所述锚固件（8）弹性连接，所述锚固件（8）固定于所述衬底（1）上。

4.如权利要求3所述的MEMS加速度计，其特征在于，所述第一弹性悬架（71）设有八个，所述第二检验质量块（3）的四侧分别形成有两个槽口（31），各所述第一弹性悬架（71）对应设置于各所述槽口（31）内，且与所述第二检验质量块（3）弹性连接，所述第二弹性悬架（72）设有八个，所述锚固件（8）设有四个，各所述锚固件（8）对应设置于所述第二检验质量块（3）的各角端，各所述锚固件（8）相邻两侧分别弹性连接有所述第二弹性悬架（72）。

5.如权利要求3或4所述的MEMS加速度计，其特征在于，所述锚固件（8）靠近所述第二检验质量块（3）的一端部上形成有开口（81），所述开口（81）与所述第二检验质量块（3）上的角端呈配合设置。

6.如权利要求1所述的MEMS加速度计，其特征在于，所述MEMS加速度计还包括固定设置于所述衬底（1）上的阻尼器（9），所述阻尼器（9）设置于所述第二检验质量块（3）内。

7.如权利要求1所述的MEMS加速度计，其特征在于，所述第一检验质量块（2）沿其厚度方向贯穿形成有多个第一通孔（23）。

8.如权利要求1所述的MEMS加速度计，其特征在于，所述第二检验质量块（3）沿其厚度方向贯穿形成有多个第二通孔（32）。