[发明专利]一种垂直腔面发射激光器

权利要求书

1.一种垂直腔面发射激光器，其特征在于，包括：依次层叠设置的衬底、缓冲层、第一反射层、有源层和第二反射层；

所述缓冲层、所述第一反射层、所述有源层和所述第二反射层中的至少一层包括应力补偿层；

在室温下，所述应力补偿层的材料的晶格常数小于所述衬底的材料的晶格常数。

2.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述衬底的材料包括GaAs；

位于所述缓冲层中的所述应力补偿层的材料包括GaAs_1-yP_y；

位于所述第一反射层、所述有源层和所述第二反射层中的所述应力补偿层的材料包括Al_xGa_1-xAs_1-yP_y。

3.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述第一反射层由第一设定数量值的第一布拉格反射层堆叠组成，其中，所述第一设定数量值的范围包括20～60层；

所述第一布拉格反射层包括层叠设置的四分之一光学厚度的第一低折射率子层和四分之一光学厚度的第一高折射率子层；

至少一层所述第一低折射率子层包括所述应力补偿层、至少一层所述第一高折射率子层包括所述应力补偿层或者相邻两层所述第一布拉格反射层之间包括所述应力补偿层。

4.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述第二反射层由第二设定数量值的第二布拉格反射层堆叠组成，其中，所述第二设定数量值的范围包括20～60层；

所述第二布拉格反射层包括层叠设置的四分之一光学厚度的第二低折射率子层和四分之一光学厚度的第二高折射率子层；

至少一层所述第二低折射率子层包括所述应力补偿层、至少一层所述第二高折射率子层包括所述应力补偿层或者相邻两层所述第二布拉格反射层之间包括所述应力补偿层。

5.根据权利要求3所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，位于相邻两层所述第一布拉格反射层之间的所述应力补偿层的厚度包括0.5个光学厚度、1个光学厚度、1.5个光学厚度或2个光学厚度。

6.根据权利要求4所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，位于相邻两层所述第二布拉格反射层之间的所述应力补偿层的厚度包括0.5个光学厚度、1个光学厚度、1.5个光学厚度或2个光学厚度。

7.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述有源层包括至少一个有源区；

所述有源区包括第一势垒子层、第二势垒子层、第三势垒子层、量子阱子层和第四势垒子层；

所述第一势垒子层、所述第二势垒子层、所述第三势垒子层和所述第四势垒子层中的至少一层包括所述应力补偿层。

8.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，所述有源层包括至少两个层叠设置的有源区；

所述应力补偿层位于相邻两个所述有源区之间。

9.根据权利要求1所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，位于所述缓冲层中的所述应力补偿层的厚度包括20～2000nm。

10.根据权利要求2所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，当位于所述缓冲层中的所述应力补偿层的材料包括GaAs_1-yP_y时，GaAs_1-yP_y中磷含量包括0y0.1。

11.根据权利要求2所述的垂直腔面发射激光器，其特征在于，当位于所述第一反射层、所述有源层和所述第二反射层中的所述应力补偿层的材料包括Al_xGa_1-xAs_1-yP_y时，Al_xGa_1-xAs_1-yP_y中磷的含量包括0.02y0.12，铝的含量包括0x1。