[发明专利]一种超纯石英玻璃的环保制备工艺

权利要求书

1.一种超纯石英玻璃的环保制备工艺，其特征在于，包括如下步骤：

（1）精馏提纯：通过精馏装置（1）对八甲基环四硅氧烷原料依次进行第一次间歇精馏、第二次间歇精馏，得到高纯八甲基环四硅氧烷；所述精馏装置（1）包括精馏釜（11）、筛板精馏塔（12）、冷凝器（13）、回流罐（14）、收集罐一（15）、收集罐二（16）、缓冲罐（17）、真空泵（18），所述筛板精馏塔（12）设置在精馏釜（11）上，所述精馏釜（11）外围设置有加热器（111），所述筛板精馏塔（12）的塔顶分别通过管路一（121）、管路二（122）与冷凝器（13）、回流罐（14）连通，所述冷凝器（13）与回流罐（14）通过管路连通，所述回流罐（14）分别通过管路三（141）、管路四（142）、管路五（143）与收集罐一（15）、收集罐二（16）、缓冲罐（17）连通，所述缓冲罐（17）分别通过管路六（171）、管路七（172）与收集罐一（15）、收集罐二（16）连通，所述真空泵（18）通过管路八（181）与缓冲罐（17）连通；

（2）化学沉积：在立式沉积炉（2）内放置靶料，然后以上述精馏制得的高纯八甲基环四硅氧烷为原料进入蒸发器（3）气化，所述高纯八甲基环四硅氧烷经蒸发器（3）气化的蒸气由净化后的氮气带出并且通至立式沉积炉（2）的燃烧器（21）火焰中，高纯八甲基环四硅氧烷的蒸气在燃烧器（21）火焰中热水解生成二氧化硅颗粒，并且在立式沉积炉中（2）内绕自身纵向轴旋转的靶料靶面上不断层叠沉积，得到二氧化硅材料，然后经熔制成超纯石英玻璃。

2.根据权利要求1所述的超纯石英玻璃的环保制备工艺，其特征在于，所述管路一（121）上设置有控制阀一（1211），所述管路二（122）上设置有控制阀二（1221）、U型管（1222）；所述管路三（141）上设置有控制阀三（1411），所述管路四（142）上设置有控制阀四（1421），所述管路五（143）上设置有控制阀五（1431），所述管路六（171）上设置有控制阀六（1711），所述管路七（172）上设置有控制阀七（1721），所述管路八（181）上设置有控制阀八（1811）、控制阀九（1812）、压力表（1813）。

3.根据权利要求2所述的超纯石英玻璃的环保制备工艺，其特征在于，所述精馏釜（11）、筛板精馏塔（12）内设置有多处测温点。