[发明专利]电容薄膜规、压力测量方法、系统、电子设备及存储介质

说明书

本申请涉及电容薄膜规技术领域，具体提供了电容薄膜规、压力测量方法、系统、电子设备及存储介质，应用在压力测量系统中，压力测量系统包括膜片、陶瓷基体、固定电极和多个第一测量电极，固定电极用于根据其与膜片的距离生成第一测量电容信息，第一测量电极圆周阵列在固定电极外侧，多个第一测量电极分别用于根据其与膜片的距离生成对应的第二测量电容信息，压力测量方法包括以下步骤：获取第一测量电容信息和第二测量电容信息；根据不同位置的第一测量电极生成的第二测量电容信息检测膜片形变是否均匀，并根据第一测量电容信息和若干个第二测量电容信息计算压力值；该方法能够实现自适应校正测量被测气体的压力值。

技术领域

本申请涉及电容薄膜规技术领域，具体而言，涉及电容薄膜规、压力测量方法、系统、电子设备及存储介质。

背景技术

现有技术的电容薄膜规包括壳体、弹性元件（一般为金属膜片）、陶瓷基体和固定电极，膜片将壳体分为测量室和基准室，陶瓷基体设置在基准室内，固定电极设置在陶瓷基体靠近膜片的端面上，固定电极上形成的电容与固定电极到膜片的距离关联。电容薄膜规的工作原理为：向测量室通入被测气体，理想情况下或者等待足够长的时间后，被测气体混合均匀且气压稳定，由于测量室内的气体压力与基准室内的气体压力不同，弹性元件在压差作用下产生均匀的形变，从而导致固定电极上形成的电容的大小发生改变，通过固定电极上形成的电容的变化量即可计算到被测气体的压力值。电容薄膜规为水平安装时，在重力作用的影响下，膜片的形变不均匀，从而导致电容薄膜规测量的被测气体压力值不准确。虽然可以通过对膜片进行调零的方式减少外电极产生的电容误差，但在每次变换电容薄膜规的安装方位时，均需要对膜片进行调零，从而使电容薄膜规的安装使用不便。

针对上述问题，目前尚未有有效的技术解决方案。

发明内容

本申请的目的在于提供电容薄膜规、压力测量方法、系统、电子设备及存储介质，能够实现自适应校正测量被测气体的压力值。

第一方面，本申请提供了一种压力测量方法，用于电容薄膜规的气体压力测量，应用在压力测量系统中，上述压力测量系统包括膜片、陶瓷基体、固定电极和多个第一测量电极，上述陶瓷基体设置在上述膜片的一侧，上述固定电极设置在上述陶瓷基体靠近上述膜片的端面上，上述固定电极用于根据其与上述膜片的距离生成第一测量电容信息，上述多个第一测量电极设置在上述陶瓷基体上且圆周阵列在上述固定电极外侧，上述多个上述第一测量电极分别用于根据其与上述膜片的距离生成对应的第二测量电容信息，上述压力测量方法包括以下步骤：

获取上述第一测量电容信息和上述第二测量电容信息；

根据不同位置的上述第一测量电极生成的上述第二测量电容信息检测上述膜片形变是否均匀，并根据上述第一测量电容信息和若干个上述第二测量电容信息计算压力值。

本申请提供的压力测量方法，根据第一测量电容信息和若干个第二测量电容信息计算压力值，由于不同位置的第二测量电容信息结合能够反映膜片形变是否均匀，且第二测量电容信息在计算过程中起校正作用，以使计算的压力值能够准确地反映被测气体压力，从而实现自适应校正测量被测气体的压力值，因此无需在变换电容薄膜规的安装方位时对膜片进行调零，以使该压力测量系统适用于不同的使用场景，有效地提高安装使用电容薄膜规的便利性。

可选地，上述第一测量电极的数量为偶数，上述根据不同位置的上述第一测量电极生成的上述第二测量电容信息检测上述膜片形变是否均匀，并根据上述第一测量电容信息和若干个上述第二测量电容信息计算压力值的步骤包括以下子步骤：

将每组对称设置的上述第一测量电极生成的上述第二测量电容信息进行差分处理以生成多个第一差分结果；

若所有上述第一差分结果均小于等于预设的均匀阈值，视上述膜片形变均匀，根据任一上述第二测量电容信息和上述第一测量电容信息计算上述压力值；