[发明专利]一种二氧化锆微纳图案的飞秒激光直写方法

权利要求书

1.一种二氧化锆微纳图案的飞秒激光直写方法，其特征在于，包括如下步骤：

a：以摩尔比计，将1份异丙醇锆溶于酸，加入1-2份去离子水，在密闭体系中进行加热反应，待反应完成后，加入去离子水使产物析出，离心后获得的固体用丙酮溶解洗涤，再加入去离子水使产物析出，如此重复若干次，将得到的产物冻干，得到白色粉末状产物，即锆基光刻胶单体；

b：将锆基光刻胶单体，双光子引发剂按比例溶于溶剂中，混匀后用滤膜过滤若干次，得到锆基光刻胶；

c：将所得的锆基光刻胶通过旋涂制成薄膜，用飞秒激光诱导其图案化聚合，经过显影获得图案；

d：将获得的图案在空气气氛中，温度退火后得到二氧化锆微纳图案。

2.根据权利要求1所述的一种二氧化锆微纳图案的飞秒激光直写方法，其特征在于：所述的步骤a中所用的酸为丙烯酸、甲基丙烯酸或两者的混合物。

3.根据权利要求1所述的二氧化锆微纳图案的飞秒激光直写方法，其特征在于：所述的步骤a中在密闭体系中进行加热反应的温度为65℃，反应的时间为24 h。

4.根据权利要求1所述的一种二氧化锆微纳图案的飞秒激光直写方法， 其特征在于：所述的步骤b中所用的溶剂为丙二醇甲醚醋酸酯、丙酮或两者的混合物。

5.根据权利要求1所述的一种二氧化锆微纳图案的飞秒激光直写方法，其特征在于；所述的步骤b中所用的双光子引发剂为7-二乙基氨基-3-噻吩甲酰基香豆素。

6.根据权利要求1所述的一种二氧化锆微纳图案的飞秒激光直写方法， 其特征在于：所述的步骤c中显影包括一级显影和二级显影，一级显影所用的显影液为步骤b中所用的溶剂，二级显影所用的显影液为异丙醇。

7.根据权利要求1所述的一种二氧化锆微纳图案的飞秒激光直写方法，其特征在于：按质量百分数计，锆基光刻胶单体含量为所述溶剂的5%-20%，双光子引发剂含量为锆基光刻胶单体含量的0.25%-2%。

8.根据权利要求1所述的一种二氧化锆微纳图案的飞秒激光直写方法，其特征在于：所述的步骤d中退火所使用的设备为马弗炉，升温速率为20 ℃/min，降温速率为5 ℃/min。