[发明专利]一种高电流探针臂测试装置

说明书

本发明公开了一种高电流探针臂测试装置，包括安装座、针座、多触点探针和压盖，所述针座通过螺丝固定在所述安装座前端，所述多触点探针安装在所述针座上、并通过所述压盖夹持固定；所述安装座为耐高温绝缘安装座，所述针座和所述压盖分别为金属针座和金属压盖、其表面均整体镀金处理，所述多触点探针表面也整体镀金处理；所述针座的上端设置有用于固定线缆的线缆安装部。本发明的针座、多触点探针和压盖表面也均整体镀金处理，这样在高电流和高电压测试工作时，多触点探针前端的若干针脚所产生的温度，可以通过其表面的覆金层快速的均匀传导至针板上，然后通过针板上下表面分别传导至针座和压盖上，以快速的降低测试探针的温度。

技术领域

本发明涉及集成电路测试技术领域，具体涉及一种高电流探针臂测试装置。

背景技术

直流探卡是检测仪器与集成电路芯片之间的一种连接介质，探针卡将检测设备的测试信号(电流或电压)接触到集成电路芯片上，达到测试的作用，并且非常重要的是需要稳定地传送测试信号，目前最常用的探针卡是环氧树脂型探卡，以及刀片探针卡，但此类型的探针卡无法满足特定的一些测试，如：高电流、高电压测试，针体的材质、镀层、以及制作工艺上，无法让高电流、高电压通过针体传输信号，

一般的测试探针的质量主要体现，存在以下不足：

1、一般电流越高温度也就越高，在高温环境中测试，探针针体无法耐受高温，探针容易损坏。

2、当所测试的芯片为大功率芯片时，功率较大，针体达不到导通大电流的能力。

发明内容

本发明解决的技术问题是提供一种单次接触即可实现高电压和高电流测量工作的探针臂测试装置。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种高电流探针臂测试装置，包括安装座、针座、多触点探针和压盖，所述针座通过螺丝固定在所述安装座前端，所述多触点探针安装在所述针座上、并通过所述压盖夹持固定；所述安装座为耐高温绝缘安装座，所述针座和所述压盖分别为金属针座和金属压盖、其表面均整体镀金处理，所述多触点探针表面也整体镀金处理；所述针座的上端设置有用于固定线缆的线缆固定部。

进一步的，所述安装座包括第一安装部、第二安装部和走线部，所述第一安装部和所述第二安装部分别左右设置，所述第二安装部上端开槽形成所述走线部；所述第一安装部用于所述高电流探针臂测试装置的安装固定，所述第二安装部前端开有限位口，所述针座卡入所述限位口中、并通过螺丝安装在第二安装部下端。

进一步的，所述针座包括针座安装部、探针安装部和所述线缆固定部，所述针座安装部和所述探针安装部左右设置，所述线缆固定部设置在所述针座安装部上端；所述针座安装部用于所述针座与所述安装座的安装固定，所述探针安装部包括探针安装面，所述探针安装面上开有若干定位孔，所述定位孔内安装有定位销，所述探针安装面中间还开有探针固定螺孔。

进一步的，所述探针安装面与水平面交叉向下倾斜，倾斜角度为40°～60°。

进一步的，所述线缆固定部上还包括限位块，所述限位块卡入到所述安装座上设置的限位孔内以实现所述针座与所述安装座的定位；所述限位块上端还设置有用于高压线缆固定的线缆安装头。

进一步的，所述多触点探针包括针板，所述针板前端设置有若干针脚，所述针板中间开有用于定位的探针限位孔和用于固定的探针安装孔。

进一步的，所述针板为矩形针板或矩形加梯形针板。

进一步的，所述若干针脚前下端的测试接触区域均抛光处理，所述测试接触区域的表面粒径小于0.5μm。

进一步的，所述针脚数量最多设置有十二只针脚

进一步的，所述测试接触区域的长度小于250μm，其宽度小于150μm。

本发明的有益效果是：