[发明专利]一种SF6

权利要求书

1.一种SF₆分解组分混合气体的紫外光谱在线监测装置，其特征在于，包括：可调紫外光源、检测池、紫外传感器、信号采集单元与无线传输单元；

检测池包括多个柱状罐与管道，其中一个柱状罐上设有进气口与出气口；

柱状罐分为头端与尾端，多个柱状罐的头端对齐并列设置，多个柱状罐之间通过管道相互贯通，柱状罐的头端设有可调紫外光源，头端与尾端各设有紫外传感器；

紫外传感器与信号采集单元相连接，信息采集单元与无线传输单元连接。

2.根据权利要求1所述的一种SF₆分解组分混合气体的紫外光谱在线监测装置，其特征在于，柱状罐的数量为3个。

3.根据权利要求2所述的一种SF₆分解组分混合气体的紫外光谱在线监测装置，其特征在于，可调紫外光源分别为发出280～320nm、190～210nm与200～210nm的紫外光的紫外光源。

4.根据权利要求1所述的一种SF₆分解组分混合气体的紫外光谱在线监测装置，其特征在于，进气口包括第一进气口与第二进气口，第一进气口用于通入SF₆分解组分混合气体，第二进气口用于通入洗气操作完成后的气体。

5.根据权利要求1所述的一种SF₆分解组分混合气体的紫外光谱在线监测装置，其特征在于，监测装置还包括：抽气设备与阀门；

阀门设置在出气口上，出气口与抽气设备相连接。

6.根据权利要求5所述的一种SF₆分解组分混合气体的紫外光谱在线监测装置，其特征在于，监测装置还包括：控制器，控制器通过控制线与可调紫外光源、信号采集单元、无线传输单元、抽气设备以及阀门连接。

7.根据权利要求5所述的一种SF₆分解组分混合气体的紫外光谱在线监测装置，其特征在于，监测装置还包括：压力传感器，压力传感器设置于检测池内部。

8.根据权利要求5所述的一种SF₆分解组分混合气体的紫外光谱在线监测装置，其特征在于，检测池为玻璃钢材质，出气口与抽气设备之间使用特氟龙管进行连接。

9.一种SF₆分解组分混合气体的紫外光谱在线监测方法，执行在权利要求1-8所述的监测装置上，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1，利用检测池的第一进气口将SF₆分解组分混合气体通入检测池中；

步骤2，将与SF₆分解组分混合气体匹配的紫外光射入检测池内；

步骤3，利用紫外传感器采集吸收混合气体后的紫外光以及未吸收混合气体的紫外光；

步骤4，将紫外传感器采集到的紫外光的光强信号转化为电信号，并传输至信号采集单元以进行监测。

10.根据权利要求9所述的一种SF₆分解组分混合气体的紫外光谱在线监测方法，其特征在于，所述步骤1在执行前还包括：

步骤S11，通过检测池的第二进气口将用于洗气的气体通入检测池中，直至检测池内部的压力传感器的示数为正数；

步骤S12，将洗气的气体在检测池中静置数十秒；

步骤S13，打开出气口以及抽气设备进行抽气操作，当压力传感器示数不再变化，停止抽气并关闭出气口。