[发明专利]一种取放结构、固晶设备及其工作方法在审
申请号: | 202210391821.7 | 申请日: | 2022-04-14 |
公开(公告)号: | CN114664710A | 公开(公告)日: | 2022-06-24 |
发明(设计)人: | 黄雄;刘卫 | 申请(专利权)人: | 深圳市昌富祥智能科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 深圳市中科云策知识产权代理有限公司 44862 | 代理人: | 温艳华;何晓 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 结构 设备 及其 工作 方法 | ||
1.一种取放结构,包括工作台(1),其特征在于,工作台(1)的两端对称设有取放固晶机构(2),取放固晶机构(2)包括设置于工作台(1)上方的主轴旋转电机(3)和设置于工作台(1)下方的安装架(4),主轴旋转电机(3)的输出端穿插过工作台(1)与安装架(4)连接,安装架(4)的两侧对称设有音圈电机(5),音圈电机(5)的输出端设有安装座(6),安装座(6)上设有摆臂(7);所述工作台(1)上还设有多个视觉CCD(8)和控制电磁阀(9),多个视觉CCD(8)分布于取放固晶机构(2)的两侧。
2.根据权利要求1所述的一种取放结构,其特征在于,所述安装座(6)的一端设有安装板(605),安装板(605)的中部设有第一安装孔(604),摆臂(7)的一端设有第一连接板(701),连接板(701)的中部设有第一连接孔(703),第一安装孔(604)与第一连接孔(703)经转轴穿插连接。
3.根据权利要求2所述的一种取放结构,其特征在于,所述安装座(6)内经转轴连接有复位板(601),复位板(601)的一端设有固定柱(602),固定柱(602)上设有两个第一弹簧(603),两个第一弹簧(603)的端部分别与安装座(6)两侧的内壁连接,复位板(601)的另一端穿插过安装座(6)的一端至外部,且复位板(601)的另一端设有第二安装孔(606),第一连接板(701)的一端设有第二连接板(702),第二连接板(702)的中部设有第二连接孔(704),第二安装孔(606)与第二连接孔(704)经转轴穿插连接。
4.根据权利要求3所述的一种取放结构,其特征在于,所述第一连接板(701)的底部设有锁球槽(705),锁球槽(705)内设有第二弹簧(706)和定位球(707),定位球(707)设置于第二弹簧(706)的下方,安装板(605)的一端设有与定位球(707)相配合的半球槽(607)。
5.根据权利要求4所述的一种取放结构,其特征在于,所述锁球槽(705)呈圆柱状,锁球槽(705)的内半径大于定位球(707)的半径,锁球槽(705)的开口呈圆形,锁球槽(705)开口的半径小于定位球(707)的半径。
6.根据权利要求4所述的一种取放结构,其特征在于,所述安装架(4)的顶部设有线路孔(10)。
7.根据权利要求1所述的一种取放结构,其特征在于,所述的两个音圈电机(5)和两个摆臂(7)以主轴旋转电机(3)为轴线对称分布在工作平台(2)的下方两侧。
8.根据权利要求1所述的一种取放结构,其特征在于,所述工作平台(2)的下方设有归位原点感应器。
9.一种固晶设备,其特征在于,包括如权利要求1-7任意一项所述的取放结构。
10.根据权利要求1-9任一项所述的取放结构、固晶设备及其工作方法,其特征在于,包括如下步骤:
S1、启动主轴旋转电机(3),主轴旋转电机(3)带动安装架(4)转动,安装架(4)带动两个音圈电机(5)转动,从而带动摆臂(7)转动至合适位置,其中一个摆臂(7)上的吸嘴对芯片进行吸取。
S2、主轴旋转电机(3)工作,带动安装架(4)旋转180°,吸取芯片的摆臂(7)转动至固晶位置,并进行固晶动作,另一摆臂转动至芯片吸取位置,并进行芯片吸取动作。
S3、在归位原点感应器的辅助下,主轴旋转电机(3)回转180°,完成复位,摆臂(7)重复上述操作,如此循环。
S4、在上述芯片吸取和固晶过程中,根据需要,启动音圈电机(5)带动摆臂(7)上下移动,从而调整摆臂(7)的高度,配合完成芯片的取放、固晶过程。
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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