[发明专利]一种真空计高精度数采显示交互设备

说明书

本申请涉及真空计技术领域，具体而言，涉及一种真空计高精度数采显示交互设备，包括能源分配模块、模拟信号采集模块、智能计算模块、通讯模块以及智能显示与交互模块，其中：能源分配模块分别与智能计算模块以及模拟信号采集模块连接；模拟信号采集模块与智能计算模块连接；通讯模块与智能计算模块连接；智能显示与交互模块与智能计算模块连接。本申请主要用于和电容薄膜真空计进行交互匹配，用户可以自主输入数据以灵活匹配不同参数的传感器，可以有效抑制信号噪声，并通过软件滤波和分段高次拟合算法，大幅提高了测量数据的精度以及设备应用的灵活性和通用性。

技术领域

本申请涉及真空计技术领域，具体而言，涉及一种真空计高精度数采显示交互设备。

背景技术

电容薄膜真空计是测量粗低真空的一种常用仪器，广泛应用于航空航天、核工业以及半导体制造等领域，是国防军工及半导体工业生产中的必需的测量仪器。我国尚无生产高精度电容薄膜真空计的能力，目前该真空计主要依赖国外进口。

电容薄膜真空计主要由传感器物理部分和数采显控装置组成，在传感器物理部分信号精度控制在合理水平的情况下，测量精度主要受限于检测电路、数据采集电路和数据处理算法的设计水平。因此，高精度数采显控交互设备实现仪器精密测量关键设备之一。

发明内容

本申请的主要目的在于提供一种真空计高精度数采显示交互设备，可以有效抑制信号噪声，并通过软件滤波和分段高次拟合算法，大幅提高了测量数据的精度。

为了实现上述目的，本申请提供了一种真空计高精度数采显示交互设备，包括能源分配模块、模拟信号采集模块、智能计算模块、通讯模块以及智能显示与交互模块，其中：能源分配模块分别与智能计算模块以及模拟信号采集模块连接；模拟信号采集模块与智能计算模块连接；通讯模块与智能计算模块连接；智能显示与交互模块与智能计算模块连接。

进一步的，能源分配模块包括AC/DC模块和DC/DC模块，AC/DC模块通过高压EMC滤波器与市电连接，通过低压EMC滤波器与DC/DC模块连接。

进一步的，DC/DC模块包括第一DC/DC模块和第二DC/DC模块，第一 DC/DC模块和第二DC/DC模块的输入端均与低压EMC滤波器连接，输出端均连接有LC滤波器。

进一步的，模拟信号采集模块采用AD7732作为数模转换器。

进一步的，模拟信号采集模块的输入端通过单端/差分检测电路与真空计连接。

进一步的，模拟信号采集模块的输出端通过SPI总线与智能计算模块连接。

进一步的，智能计算模块采用8051F340作为核心处理器，用于将采集的数据进行数字滤波，并通过滤波后的数据计算出对应的真空度数据。

进一步的，智能计算模块采用滑窗滤波算法进行数字滤波，采用分段高次拟合算法计算对应的真空度数据。

进一步的，智能显示与交互模块为LCD触摸显示屏。

进一步的，还包括储存模块，储存模块与智能计算模块连接。

本发明提供的一种真空计高精度数采显示交互设备，具有以下有益效果：

本申请主要用于和电容薄膜真空计进行交互匹配，用户可以自主输入数据以灵活匹配不同参数的传感器，可以有效抑制信号噪声，并通过软件滤波和分段高次拟合算法，大幅提高了测量数据的精度以及设备应用的灵活性和通用性。

附图说明

构成本申请的一部分的附图用来提供对本申请的进一步理解，使得本申请的其它特征、目的和优点变得更明显。本申请的示意性实施例附图及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1是根据本申请实施例提供的真空计高精度数采显示交互设备的结构示意图；