[发明专利]一种电镀铟添加剂及其制备工艺

权利要求书

1.一种电镀铟添加剂，其特征在于，包括以下使用超纯水配制浓度的组份：氨基磺酸铟80-120g/L，氨基磺酸20-40g/L，双十二烷基二甲基溴化铵50-200mg/L，炔醇聚醚类表面活性剂10-50mg/L，羧甲基壳聚糖0.5-3g/L及乙二胺二琥珀酸三钠0.1-0.5g/L。

2.根据权利要求1所述的一种电镀铟添加剂，其特征在于，所述双十二烷基二甲基溴化铵的优选浓度为80-130mg/L。

3.根据权利要求1所述的一种电镀铟添加剂，其特征在于，所述炔醇聚醚类表面活性剂使铟电镀液稳定，并使铟电镀液具有良好的润湿扩散能力，同时使铟电镀液在微细线路中能够进行铟金属层的均匀电镀，所述炔醇聚醚类表面活性剂的优选结构为炔二醇聚氧乙烯醚。

4.根据权利要求1所述的一种电镀铟添加剂，其特征在于，所述炔醇聚醚类表面活性剂的优选结构为叔炔醇聚氧乙烯醚。

5.根据权利要求1所述的一种电镀铟添加剂，其特征在于，所述羧甲基壳聚糖的等电点的pH为2-5。

6.根据权利要求1所述的一种电镀铟添加剂，其特征在于，所述铟电镀液的pH≤2。

7.根据权利要求1所述的一种电镀铟添加剂，其特征在于，所述羧甲基壳聚糖与所述乙二胺二琥珀酸三钠共同作用稳定铟电镀液，且所述羧甲基壳聚糖在铟电镀液中具有络合金属离子的作用。

8.根据权利要求7所述的一种电镀铟添加剂，其特征在于，所述羧甲基壳聚糖的优选浓度为1-2g/L。

9.一种电镀铟添加剂的制备工艺，用于权利要求1中所述电镀铟添加剂的制备，其特征在于，将电镀铟添加剂中的各组份按照浓度均匀混合后形成一种铟电镀液，该铟电镀液可用于镍金属层上铟镀层的电镀。