[发明专利]用于样品加热的加热装置

权利要求书

1.一种用于样品加热的加热装置，其特征在于，包括：

底座；

加热器，所述加热器安装在所述底座上；

隔热罩，所述隔热罩固定在所述底座的周边，以形成围绕所述加热器的腔体，所述加热器邻近所述腔体的开口；以及

基片台，位于所述腔体的开口上方，并且与所述加热器彼此不接触。

2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述加热器包括电阻线、加热丝和第一连接部，所述第一连接部将所述电阻线和所述加热丝连接。

3.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，所述加热丝包括冷端、连接端和加热盘，所述冷端与所述第一连接部连接，所述连接端位于所述加热盘和所述冷端之间。

4.根据权利要求3所述的加热装置，其特征在于，所述加热盘由螺旋方式绕线的加热丝组成。

5.根据权利要求4所述的加热装置，其特征在于，所述加热盘为绕制成至少两层的螺旋状的加热丝。

6.根据权利要求5所述的加热装置，其特征在于，所述加热盘由一个加热丝密绕组成。

7.根据权利要求5所述的加热装置，其特征在于，所述加热盘由两个加热丝密绕组成。

8.根据权利要求7所述的加热装置，其特征在于，所述加热盘的两层分别由一个加热丝密绕组成。

9.根据权利要求7所述的加热装置，其特征在于，所述加热盘包括在同一平面彼此嵌套的两个螺旋状的加热丝，两个所述加热丝分别绕成两层。

10.根据权利要求4-9中任一项所述的加热装置，其特征在于，所述加热盘通过焊道连接，所述焊道沿所述加热盘的半径延伸，连接相邻两个加热丝。

11.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，所述加热丝的材料包括以下至少一种：碳化硅、铂铑合金和铠装丝。

12.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述隔热罩包括至少一个反射片。

13.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述底座包括：第五固定部，多层反射片，第一固定部和第三连接部，所述第五固定部通过所述第三连接部与所述第一固定部连接，所述隔热罩固定在所述第五固定部的周边形成围绕所述加热器的腔体，所述多层反射片固定在所述腔体中的所述第五固定部表面。

14.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述基片台包括：第二固定部，多个第二连接部以及第三固定部，其中，所述第三固定部用于承载基片且位于所述隔热罩的腔体开口端，所述第二连接部将所述第二固定部与所述第三固定部连接。

15.根据权利要求14所述的加热装置，其特征在于，所述基片台的第二固定部与所述底座的中心重合。

16.根据权利要求15所述的加热装置，其特征在于，所述隔热罩和所述底座位于所述基片台的多个第二连接部围成的区域内。