[发明专利]一种频率可调控的慢光器件及其制备方法

权利要求书

1.一种频率可调控的慢光器件，其特征在于，包括钛酸锶基片和生长在所述钛酸锶基片上的具有电磁诱导透明现象的金属结构阵列，所述金属结构阵列包括多个周期性排列的金属结构单元，所述金属结构单元包括条形谐振器和双开口环形谐振器，所述条形谐振器的中心和所述双开口环形谐振器的中心处于同一水平线上。

2.根据权利要求1所述频率可调控的慢光器件，其特征在于，所述钛酸锶基片的晶向为100，厚度为0.5mm。

3.根据权利要求1所述频率可调控的慢光器件，其特征在于，所述条形谐振器在太赫兹电场竖直偏振激发下的谐振频率和所述双开口环形谐振器在太赫兹电场水平偏振激发下的谐振频率一致。

4.一种制备如权利要求1所述频率可调控的慢光器件的方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)清洗钛酸锶基片；

(2)在所述钛酸锶基片上涂覆光刻胶LOR-10B并烘干；

(3)在所述光刻胶LOR-10B上涂覆光刻胶AZ1500并烘干；

(4)对所述光刻胶LOR-10B和光刻胶AZ1500进行紫外曝光并显影；

(5)在所述光刻胶AZ1500和露出的钛酸锶基片上蒸镀一层金属薄膜；

(6)将蒸镀完金属薄膜的钛酸锶基片进行剥离，完成器件的制备。

5.一种对如权利要求1所述频率可调控的慢光器件进行温度调控的方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将频率可调控的所述慢光器件和作为参考的钛酸锶基片固定在杜瓦的样品架上，将杜瓦放入太赫兹时域光谱系统中，使所述慢光器件的中心处于光路中光轴附近；

(2)将杜瓦抽到真空状态，然后降低温度到180K；

(3)控制杜瓦逐渐升温，利用太赫兹时域光谱系统测量不同温度下的所述慢光器件的归一化透射谱，并求出群时延谱。