[发明专利]一种适用于翘曲晶圆取放的机械手结构

权利要求书

1.一种适用于翘曲晶圆取放的机械手结构，包括机械手底板（1），其特征在于：所述机械手底板（1）顶部的一端设置有副手臂（6），所述副手臂（6）顶部的中间位置处设置有真空管路接头（5），所述副手臂（6）顶部的一端设置有微型气缸（4），所述微型气缸（4）的一侧设置有微型气缸用压缩空气管路接头（7），所述微型气缸（4）的输出端设置有压缩空气吹气板（9），所述压缩空气吹气板（9）的底部设置有吹气板用压缩空气管路接头（8），所述机械手底板（1）的两侧设置有定位组件（2），所述机械手底板（1）顶部的中间位置处设置有真空吸附组件（3），所述机械手底板（1）底部的中间位置处设置有真空通道（10），所述机械手底板（1）的底部设置有机械手盖板（11），

其中，所述定位组件（2）包括滑槽（201）、第一齿条（202）、安装框（203）、滑块（204）、通槽（205）、定位杆（206）、第二齿条（207）、第一弹簧（208）和支撑杆（209），所述滑槽（201）设置有两组且分别位于机械手底板（1）的两侧，所述滑槽（201）的内部滑动设置有滑块（204），两组所述滑块（204）的一侧分别设置有支撑杆（209），所述支撑杆（209）的内部设置有通槽（205），所述通槽（205）内部的底部设置有第一齿条（202），所述支撑杆（209）顶部的一侧设置有定位杆（206），所述通槽（205）的内部滑动设置有安装框（203），所述安装框（203）的底部滑动设置有第二齿条（207），所述第二齿条（207）顶部的两侧设置有第一弹簧（208）。

2.根据权利要求1所述的一种适用于翘曲晶圆取放的机械手结构，其特征在于：所述真空吸附组件（3）包括真空吸附仓（301）、第二弹簧（302）、真空吸附头（303）和进气口（304），所述真空吸附仓（301）设置在所述机械手底板（1）顶部的中间位置处，所述真空吸附仓（301）的正面一端设置有进气口（304），所述真空吸附仓（301）的顶部滑动设置有真空吸附头（303），所述真空吸附头（303）的外侧套设有第二弹簧（302）。

3.根据权利要求1所述的一种适用于翘曲晶圆取放的机械手结构，其特征在于：所述压缩空气吹气板（9）包括吹气底板（901）、吹气盖板（902）、压缩空气口（903）和压缩空气通道（904），所述吹气底板（901）位于微型气缸（4）的输出端，所述吹气底板（901）的内部设置有压缩空气通道（904），所述压缩空气通道（904）底部的一端设置有压缩空气口（903），所述吹气底板（901）的顶部设置有吹气盖板（902）。

4.根据权利要求1所述的一种适用于翘曲晶圆取放的机械手结构，其特征在于：所述副手臂（6）内部的中间位置处设置有接头安装口，所述真空管路接头（5）与接通安装口相互适配，且接头安装口与压缩空气吹气板（9）的内部相互连通。

5.根据权利要求1所述的一种适用于翘曲晶圆取放的机械手结构，其特征在于：所述安装框（203）靠近机械手底板（1）一侧的一端设置有连接杆，且连接杆与机械手底板（1）固定连接。

6.根据权利要求2所述的一种适用于翘曲晶圆取放的机械手结构，其特征在于：所述真空吸附头（303）外侧的顶部套设有橡胶圈，所述真空吸附头（303）外侧的底部设置有环形凸起。

7.根据权利要求2所述的一种适用于翘曲晶圆取放的机械手结构，其特征在于：所述真空吸附仓（301）的内部通过进气口（304）与真空通道（10）的内部相互连接。

8.根据权利要求1所述的一种适用于翘曲晶圆取放的机械手结构，其特征在于：所述副手臂（6）顶部远离微型气缸（4）的一端设置有四组安装槽。

9.根据权利要求1所述的一种适用于翘曲晶圆取放的机械手结构，其特征在于：所述机械手底板（1）顶部远离副手臂（6）一端的两侧设置有橡胶垫片。