[发明专利]高分辨率镜头下测试薄片平整度的实时对焦方法及装置

权利要求书

1.一种高分辨率镜头下测试薄片平整度的实时对焦方法，其特征在于，实现方法如下：

应用检测镜头以及多个光线发射器件，所述光线发射器件呈斜角度发出光线在所述检测镜头的视野范围内形成线段状投影，且多条线段状投影中相邻近的两条线段状投影相交；

标定：

保持所述检测镜头在距离标准平面设定高度位置，记录多个所述光线发射器件发出光线在所述标准平面上形成的标准线段状投影位置以及多标准线段状投影的标准交点位置；

测试：

所述检测镜头在距离测试平面一定高度位置，记录两个所述光线发射器件发出光线在所述检测平面上形成的检测线段状投影位置以及两检测线段状投影的检测交点位置，依据检测线段状投影位置和标准投影位置的差值调整检测镜头与测试平面的相对位置；

当所有检测线段状投影位置和标准投影位置的差值以及所有检测交点位置与相应的标准交点位置差值均在设定误差范围内，则完成区域对焦。

2.根据权利要求1所述的高分辨率镜头下测试薄片平整度的实时对焦方法，其特征在于，所述方法还包括：

将被测物体上的待检测区域，划分为多个子区域，移动检测镜头以及光线发射器件对多个子区域逐一对焦并拍照获取图像。

3.根据权利要求1所述的高分辨率镜头下测试薄片平整度的实时对焦方法，其特征在于，调整检测镜头与测试平面的相对位置的方法为：

调节检测镜头的高度或调节测试平面的高度。

4.根据权利要求3所述的高分辨率镜头下测试薄片平整度的实时对焦方法，其特征在于，调节检测镜头的高度或调节测试平面的高度h采用公式：

h＝d*tan(a)*pixel；

其中，d为检测线段状投影位置和标准投影位置的差值，a为光线发射器件发射的光线与垂直方向的夹角，pixel为检测镜头的分辨率比例。

5.根据权利要求3或4所述的高分辨率镜头下测试薄片平整度的实时对焦方法，其特征在于，所述调节测试平面的高度采用方法：

在测试平面的四个边角位置设置精密驱动电机，通过调节四个精密驱动电机来精确控制每个位置的上下微动。

6.根据权利要求1-3任一所述的高分辨率镜头下测试薄片平整度的实时对焦方法，其特征在于，多条线段状投影中相邻近的两条线段状投影相垂直。

7.根据权利要求1-3任一所述的高分辨率镜头下测试薄片平整度的实时对焦方法，其特征在于，所述光线发射器件为激光发射器。

8.一种高分辨率镜头下测试薄片平整度的实时对焦装置，其特征在于，包括检测镜头以及多个光线发射器件，所述光线发射器件呈斜角度发出光线在所述检测镜头的视野范围内形成线段状投影，且多条线段状投影中相邻近的两条线段状投影相交；所述装置还包括调整检测镜头与测试平面的相对位置的调距机构。

9.根据权利要求8所述的高分辨率镜头下测试薄片平整度的实时对焦装置，其特征在于，所述调距机构包括调节所述检测镜头高度的Z轴模组和/或四个分别对应调节所述测试平面四个边角高度的Z轴单元。

10.根据权利要求8所述的高分辨率镜头下测试薄片平整度的实时对焦装置，其特征在于，所述装置还包括带动所述检测镜头以及多个所述光线发射器件沿X轴以及Y轴移动的XY轴模组。