[发明专利]工艺控制方法、装置及工业控制系统

说明书

本申请涉及一种工艺控制方法、装置及工业控制系统，所述方法包括：接收设定数据交换格式的工艺流程文件；其中，所述工艺流程文件包括以结构化的数据格式描述的工艺流程的各个工序的执行内容；按工艺流程顺序对所述工艺流程文件进行遍历解析，获取工艺流程的各个工序以及工序包含的阶段；其中，所述阶段包括执行指令集合；依次读取各个工序的各个阶段的执行指令，通过设定通讯协议将所述执行指令发送至对应的控制设备进行执行，以控制工艺设备相应的设备部件；其中，所述控制设备分别连接至少一个设备部件。该技术方案，实现了对工艺过程全自动执行，可以形成完整的全自动流程控制输入，极大提升了工艺设备的控制效率。

技术领域

本申请涉及工业控制技术领域，特别是一种工艺控制方法、装置及工业控制系统。

背景技术

在工业控制技术领域中，传统的工业设备、加工工艺设备采用的控制技术，一般是通过PLC(Programmable Logic Controller，可编程逻辑控制器)设备进行逻辑控制，由于各个设备部件产生的状态数据繁多，各个PLC设备采集所属设备部件的数据来进行处理；如在真空技术领域的真空镀膜、真空刻蚀等工艺。

对于工艺流程，一般由固定的流程构成，相关工艺控制只能在控制系统支持的固化参数下进行，无法在过程中再参数或流程进行额外的操作控制。以真空镀膜设备为例，真空镀膜工艺流程主要包括抽真空、加热、预熔、成膜、取件；其中成膜前后一般由人工手动操作，成膜过程的参数控制则通过文档模板(如Excel模板)导入控制系统，工艺人员通过固化的文档模板设置成膜过程中的控制参数，控制系统读取文档模板后进行执行。上述技术方案虽然能够满足常规镀膜工艺需求，但由于固化的模式，工艺人员仅能在控制系统支持的固化参数下进行镀膜工艺控制，无法在过程中对各个工艺环节更多的参数或流程进行更细的操作控制；并且文件编辑仅是针对成膜环节的设置，无法进行完整的全自动流程控制输入。

由此可见，传统的工艺设备控制技术，难以全自动流程控制，严重影响了工艺设备的控制效率。

发明内容

基于此，有必要针对上述至少一种技术缺陷，提供一种工艺控制方法、装置及工业控制系统。

一种工艺控制方法，包括：

接收设定数据交换格式的工艺流程文件；其中，所述工艺流程文件包括以结构化的数据格式描述的工艺流程的各个工序的执行内容；

按工艺流程顺序对所述工艺流程文件进行遍历解析，获取工艺流程的各个工序以及工序包含的阶段；其中，所述阶段包括执行指令集合；

依次读取各个工序的各个阶段的执行指令，通过设定通讯协议将所述执行指令发送至对应的控制设备进行执行，以控制工艺设备相应的设备部件；其中，所述控制设备分别连接至少一个设备部件。

在一个实施例中，所述的工艺控制方法，还包括：

获取工艺流程的各个工序的执行内容；

通过结构化的数据格式描述所述执行内容；

将所述执行内容生成所述工艺流程文件。

在一个实施例中，所述结构化的数据格式为列表数据结构；其中，

每个列表元素对应一个工序；

每个工序中含有多个阶段；

每个阶段设有至少一个键值代表执行指令或者检测条件，对应于控制设备通讯定义的协议。

在一个实施例中，按工艺流程顺序对所述工艺流程文件进行遍历解析，获取工艺流程的各个工序以及工序包含的阶段，包括：

通过可视化界面调用执行工艺流程，将所述设定数据交换格式的工艺流程文件以字符串传参到执行程序，通过所述执行程序将字符串转换成数据对象，并进行遍历解析；