[发明专利]液面高度精确可控的喷流锡炉及液面高度控制方法在审
申请号: | 202210297740.0 | 申请日: | 2022-03-25 |
公开(公告)号: | CN114749751A | 公开(公告)日: | 2022-07-15 |
发明(设计)人: | 张曹 | 申请(专利权)人: | 常州井芯半导体设备有限公司 |
主分类号: | B23K3/06 | 分类号: | B23K3/06 |
代理公司: | 常州市天龙专利事务所有限公司 32105 | 代理人: | 于雅洁 |
地址: | 213000 江苏省常州市武进区常武中路18*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 液面 高度 精确 可控 喷流 控制 方法 | ||
1.一种液面高度精确可控的喷流锡炉,其特征在于,包括:第一锡槽、第二锡槽、第三锡槽、第一流道、第二流道和送液机构;
所述第二锡槽设置于所述第一锡槽内,所述第二锡槽的上侧通过所述第一流道与所述第一锡槽连通,所述第二锡槽的下侧通过所述第二流道与所述第一锡槽可开闭地连通,所述第二锡槽内的锡液能够通过所述第二流道溢出至所述第一锡槽内,所述第三锡槽设置于所述第二锡槽内,所述第三锡槽的高度低于所述第二锡槽的高度,所述第三锡槽的开口作为浸锡口;
所述送液机构用于通过所述第一流道将所述第一锡槽的锡液递送至所述第二锡槽。
2.根据权利要求1所述的液面高度精确可控的喷流锡炉,其特征在于,所述第一流道的进液口位于所述第一锡槽的底部。
3.根据权利要求2所述的液面高度精确可控的喷流锡炉,其特征在于,所述第一流道内设有过滤件。
4.根据权利要求1所述的液面高度精确可控的喷流锡炉,其特征在于,所述第一流道的出液口位于所述第二锡槽上方且在竖直方向的投影处于所述第三锡槽外侧。
5.根据权利要求1所述的液面高度精确可控的喷流锡炉,其特征在于,所述第二锡槽的下侧具有横向延伸的延展部,所述延展部开设有漏孔,所述漏孔被配置为所述第二流道。
6.根据权利要求5所述的液面高度精确可控的喷流锡炉,其特征在于,所述液面高度精确可控的喷流锡炉具有堵杆,所述堵杆用于封堵所述漏孔,所述堵杆与所述漏孔配合时,所述第二锡槽内的锡液不流入所述第一锡槽;所述堵杆与所述漏孔解除配合时,所述第二锡槽内的锡液能够溢出至所述第一锡槽内。
7.根据权利要求5所述的液面高度精确可控的喷流锡炉,其特征在于,所述漏孔的上开口面积大于下开口面积。
8.根据权利要求1所述的液面高度精确可控的喷流锡炉,其特征在于,所述送液机构包括电机和叶轮,所述叶轮位于所述第一流道的进液口所在处。
9.根据权利要求1所述的液面高度精确可控的喷流锡炉,其特征在于,所述液面高度精确可控的喷流锡炉还包括超声波振动头,所述超声波振动头设置于所述第三锡槽内。
10.一种液面高度控制方法,其特征在于,通过权利要求1-9任一项所述的液面高度精确可控的喷流锡炉来控制浸锡口的锡液高度一致,该方法包括:
封闭第二流道;
送液机构将第一锡槽内的锡液递送至第二锡槽;
送液机构持续送液,直至锡液将第三锡槽浸没;
送液机构停止工作,并开启第二流道,使得第二锡槽内的液面低于第三锡槽的高度。
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