[发明专利]一种用于辉光放电质谱仪的样品装置及样品测试方法在审
申请号: | 202210290349.8 | 申请日: | 2022-03-23 |
公开(公告)号: | CN114724918A | 公开(公告)日: | 2022-07-08 |
发明(设计)人: | 钱荣;沈世音;朱月琴;卓尚军;盛成 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
主分类号: | H01J49/04 | 分类号: | H01J49/04;G01N27/68 |
代理公司: | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人: | 曹芳玲;简丹 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 辉光 放电 质谱仪 样品 装置 测试 方法 | ||
1.一种用于辉光放电质谱仪的样品装置,包括第二阴极进样装置,其特征在于,所述第二阴极进样装置包括具有敞口的壳体、镂空金属片和弹簧嵌件,所述镂空金属片具有镂空图案,并固定在所述壳体的敞口上,所述弹簧嵌件固定在所述壳体的内部、并处于压缩状态,样品夹持在所述镂空金属片和弹簧嵌件之间。
2.根据权利要求1所述用于辉光放电质谱仪的样品装置,其特征在于,所述壳体在敞口处设有用于固定所述镂空金属片的凹槽。
3.根据权利要求1或2所述用于辉光放电质谱仪的样品装置,其特征在于,所述镂空金属片为铝、铜、钽、金、铂、或钨片。
4.根据权利要求1-3任一项所述用于辉光放电质谱仪的样品装置,其特征在于,所述第二阴极进样装置的体积小于所述辉光放电池的容积,以能安放于所述辉光放电池中。
5.一种使用如权利要求1-4任一项所述的样品装置进行辉光放电质谱仪测试的方法,其特征在于,包括如下步骤:
分别将待测样品与镂空金属片预先依次用稀酸、超纯水、无水乙醇清洗,烘干;
将清洗好的样品装入第二阴极进样装置内;
将装有样品的第二阴极进样装置抽真空后送入辉光放电质谱仪的辉光放电池中;
连接直流源,调整合适的放电气压、放电电流和电压进行放电;
对所述样品的待测元素进行扫描并记录信号强度。
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述样品包括各种尺寸的晶体、陶瓷、玻璃或其它导体、半导体及非导体材料。
7.根据权利要求5或6所述的方法,其特征在于,在清洗样品时,先将样品于稀硝酸中进行超声清洗,再于超纯水中超声清洗两次,最后用无水乙醇洗净,烘干。
8.根据权利要求5-7任一项所述的方法,其特征在于,所述信号强度的显示模式为电流模式或电压模式。
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