[发明专利]一种晶舟盒内晶圆位置检测装置

权利要求书

1.一种晶舟盒内晶圆位置检测装置，其特征在于：包括处理单元、输送带和与盒体适配的挡板，所述输送带上依次设置有上板位、前拍照位、下板位、合盖位和后拍照位，所述输送带上方对应上板位、前拍照位、下板位、合盖位和后拍照位分别设置有上板机械手、前拍照机械臂、下板机械手、合盖机械臂和后拍照机械臂；

所述挡板包括由透明材质制成的封口板和转动设置在所述封口板左右两侧的卡板，所述卡板包括卡板本体、设置在卡板本体下端的可卡扣在所述盒体上端边沿的下卡部和设置在所述卡板本体上端的推板部；

所述上板机械手用于将所述挡板盖合在盒体上，所述下板机械手用于将所述挡板从盒体上取下，所述上板机械手包括第一伸缩臂，所述下板机械手包括第二伸缩臂，所述第一伸缩臂和第二伸缩臂的下端均设置有弄板组件；所述弄板组件包括横架、安装在所述横架上的用于拿取挡板的拿板手、用于推动所述推板部的推动装置和连接在所述推动装置推动端的拨动槽；

所述前拍照机械臂包括可上下伸缩的第一伸缩架和设置在第一伸缩架上的前拍照机组，所述前拍照机组包括用于对达到前拍照位的盒体进行前后左右四个方向拍照的四个相机；

所述前拍照位的左右两侧设置有转盒机构，所述转盒机构包括可抵紧在盒体左右侧壁上的夹块和用于驱动所述夹块旋转的旋转装置；在所述盒体到达所述前拍照位后，转盒机构先转动盒体将其平放在输送带上，之后前拍照机组对此时盒体的前后左右进行拍照，最后转盒机构再将盒体扶正；

所述合盖机械臂包括可上下伸缩的第二伸缩架和设置在第二伸缩架上的盖转移手、盖拧紧手，所述盖转移手用于拿取盒盖并盖在处于合盖位的晶舟盒的盒体上，所述盖拧紧手用于拧动盒盖上的旋钮，将盒盖固定在盒体上；

所述后拍照机械臂包括可上下伸缩的第三伸缩架和设置在第三伸缩架上的后拍照机组，所述后拍照机组包括从前方、后方、左方、右方和上方分别对到达后拍照位的晶舟盒拍照的五个相机；

所述处理单元用于处理来自所述前拍照机组和后拍照机组的图像信息，所述处理单元比较晶圆左右两侧与盒体卡槽的契合度，若盒体卡槽与晶圆的契合度不满足预设条件，则发出第一报警信号；所述处理单元比较晶圆顶部与盒盖内槽的契合度，若晶圆与盒盖内槽的契合度不满足预设条件，则发出第二报警信号。

2.根据权利要求1所述的晶舟盒内晶圆位置检测装置，其特征在于：晶圆顶部与盒盖内槽的契合度的比较步骤包括：

识别盒盖内槽的位置；

识别每个晶圆最高点距离盒盖内槽的距离；

若第K个晶圆最高点距离盒盖内槽的距离超出预设值范围，则表明第K个晶圆斜放，发出第二报警信号。

3.根据权利要求1所述的晶舟盒内晶圆位置检测装置，其特征在于：所述第二伸缩架包括第三 伸缩臂和转动连接在所述第三 伸缩臂下端的转动臂，所述盖转移手、盖拧紧手安装在所述转动臂上。

4.根据权利要求1所述的晶舟盒内晶圆位置检测装置，其特征在于：晶圆左右两侧与盒体卡槽契合度的比较步骤包括：

识别盒体左右两侧卡槽的位置；

识别每侧的卡槽内是否有晶圆；

若第M行两侧的卡槽中仅有一侧有晶圆，表明第M个晶圆斜放，发出第一报警信号。

5.根据权利要求1所述的晶舟盒内晶圆位置检测装置，其特征在于：所述转盒机构还包括相对设置在所述前拍照位左右两侧的滑轨、与所述滑轨适配的滑块和用于左右移动所述滑块的动块装置，所述旋转装置固定安装在所述滑块上；

所述前拍照机组的相机拍照时，所述动块装置将所述滑块向两侧拉动以对所述前拍照机组的相机让位。

6.根据权利要求1所述的晶舟盒内晶圆位置检测装置，其特征在于：所述前拍照位处设置有到位感知装置，盒体运动到前拍照位时被到位感知装置感知，并触发输送带的动作依照预设的程序暂停。

7.根据权利要求1至6任一项所述的晶舟盒内晶圆位置检测装置，其特征在于：所述输送带上设置有位于后拍照位后方的贴标位，所述输送带的上方设置有与所述贴标位对应的打标贴标装置，所述打标贴标装置包括用于根据晶舟盒内的货物批次信息打印标签的打印机和用于将打印机打出的标签贴在盒盖指定位置的贴标机械手。