[发明专利]一种用于生产超纯净电子级双氧水的高品质原料及其制备方法

权利要求书

1.一种用于生产超纯净电子级双氧水的高品质原料，其特征在于：为由包括电解工艺和蒸馏工艺制备的双氧水。

2.如权利要求1所述的一种用于生产超纯净电子级双氧水的高品质原料，其特征在于：双氧水为符合SEMI G2标准的双氧水。

3.如权利要求1或者2所述一种用于生产超纯净电子级双氧水的高品质原料的制备方法，其特征在于：制备步骤包括电解工艺和蒸馏工艺，电解工艺后的电解液进入蒸馏工艺处理，其中所述电解工艺采用氧化物单晶片作为电解槽的阳极材料，碳基材料作为阴极材料，将中性或碱性电解液加入电解槽，并在阴极通入氧气后，在电解槽的阳极和阴极上外加偏压，使阳极发生两电子水氧化反应生成过氧化氢，同时阴极发生氧还原反应生成过氧化氢；所述蒸馏工艺包括蒸发和精馏两个物理分离过程。

4.如权利要求3所述的一种用于生产超纯净电子级双氧水的高品质原料的制备方法，其特征在于：所述中性或碱性电解液由电子级水或分析实验室用水和高纯电解质K₂CO₃或Na₂CO₃组成，其pH值范围为7-13。

5.如权利要求3所述的一种用于生产超纯净电子级双氧水的高品质原料的制备方法，其特征在于：所述氧化物单晶片是掺杂钒酸铋单晶{111}、{110}、{112}、{100}等晶面或掺杂氧化锌单晶{0001}晶面。

6.如权利要求3所述的一种用于生产超纯净电子级双氧水的高品质原料的制备方法，其特征在于：所述碳基材料是石墨/炭黑/聚四氟乙烯复合物、氧化或掺杂的碳材料或碳基单原子催化剂。

7.如权利要求3所述的一种用于生产超纯净电子级双氧水的高品质原料的制备方法，其特征在于：所述氧气为纯度≥99.9％的工业氧气或制氧机制备的纯度≥90％的氧气。

8.如权利要求3所述的一种用于生产超纯净电子级双氧水的高品质原料的制备方法，其特征在于：所述外加偏压为1.8-2.5V，电解时的电流密度为0.01-0.3A/cm²。

9.如权利要求3所述的一种用于生产超纯净电子级双氧水的高品质原料的制备方法，其特征在于：电解完成后收集阳极和阴极区域电解液，在蒸发器内经减压蒸发过程去除包括电解质和金属离子的不挥发物得到高纯度、低浓度的双氧水溶液，再在精馏塔内经减压精馏过程分离出多余水分，得到单项金属离子含量10ppb，总有机碳含量200ppb的双氧水溶液。

10.如权利要求3所述的一种用于生产超纯净电子级双氧水的高品质原料的制备方法，其特征在于：所述电解槽、蒸发器和精馏塔内使用ABS塑料、氯化聚氯乙烯、氟橡胶、高密度聚乙烯、可熔性聚四氟乙烯、聚丙烯、聚四氟乙烯或聚氯乙烯作为内衬。