[发明专利]非易失性α-Fe2

权利要求书

1.非易失性α-Fe₂O₃/TiO₂异质结忆阻器，其特征在于，包括底电极，底电极上外延依次生长有TiO₂阻变层和α-Fe₂O₃阻变层，α-Fe₂O₃阻变层表面沉积有上电极。

2.根据权利要求1所述的非易失性α-Fe₂O₃/TiO₂异质结忆阻器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1，TiO₂/底电极样品反应液的配制；在磁力搅拌下，配制含有钛酸四丁酯的反应液；

步骤2，将导电面朝下的干净底电极衬底斜放在水热反应釜内胆内，加入步骤1中的反应液，同时保持部分底电极衬底高于反应液面，密封后置于马弗炉中；

步骤3，水热反应完成后，将步骤2中的反应釜冷却至室温，取出反应釜内胆，取出底电极样品并依次用乙醇、去离子水冲洗干净，自然晾干，得到所需TiO₂/底电极样品；

步骤4，FeOOH/TiO₂/底电极异质结样品反应液的配制；在磁力搅拌下，配制含有FeCl₃·6H₂O的反应溶液；

步骤5，将步骤3制备的TiO₂/底电极样品外延生长面朝下斜放在水热反应釜内胆内，加入步骤4中的反应溶液，保持所加反应溶液与步骤2所加反应液体积一致，密封后置于马弗炉中，水热反应；

步骤6，水热反应完成后，将步骤5中的反应釜冷却至室温，取出反应釜内胆，取出样品并用去离子水冲洗干净，自然晾干，得到所需FeOOH/TiO₂/底电极异质结样品；

步骤7，将步骤6制备的FeOOH/TiO₂/底电极异质结样品放入石英舟，置于管式炉中，在氮气气氛下退火处理；

步骤8，退火处理工艺完成后，待步骤7退火处理样品冷却至室温后取出，依次用乙醇、去离子水冲洗干净，自然晾干，得到所需α-Fe₂O₃/TiO₂/底电极异质结样品；

步骤9，将步骤8制备的α-Fe₂O₃/TiO₂/底电极异质结样品表面沉积一定厚度和形貌的上电极。

3.根据权利要求2所述的非易失性α-Fe₂O₃/TiO₂异质结忆阻器的制备方法，其特征在于，步骤1中，反应液内去离子水与盐酸的体积比为1：1，钛酸四丁酯与反应液的体积比为1/60～1/12。

4.根据权利要求2所述的非易失性α-Fe₂O₃/TiO₂异质结忆阻器的制备方法，其特征在于，步骤2中，水热反应温度为110～160℃，时间为3～7h。

5.根据权利要求2所述的非易失性α-Fe₂O₃/TiO₂异质结忆阻器的制备方法，其特征在于，步骤4中，FeCl₃·6H₂O的浓度为比为0.03～0.33mol/L。

6.根据权利要求2所述的非易失性α-Fe₂O₃/TiO₂异质结忆阻器的制备方法，其特征在于，步骤5中，水热反应温度为80～150℃，时间为3～12h。

7.根据权利要求2所述的非易失性FeOOH/TiO₂异质结忆阻器的制备方法，其特征在于，步骤7中，退火温度为200～850℃，时间为0.5～6h。