[发明专利]一种TM通偏振滤波器在审
| 申请号： | 202210251878.7 | 申请日： | 2022-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN114660714A | 公开（公告）日： | 2022-06-24 |
| 发明（设计）人： | 许吉;杨昕泽;周天诺;苏杭;阳乐;邱崇涛;刘宁;陆云清 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/122 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 210023 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 tm 偏振 滤波器 | ||
1.一种TM通偏振滤波器，其特征在于，包括衬底、支撑层、高折射率波导区域、间隔层和金属层，所述高折射率波导区域设置在衬底上表面的中间位置，所述支撑层设置在衬底上表面上且位于高折射率波导区域的两侧，所述金属层设置在支撑层的上方且通过支撑层支撑在高折射率波导区域上方，间隔层设置在金属层与支撑层之间；
所述高折射率波导区域包括依次连接的拱柱形输入波导、拱柱形混合等离激元波导和拱柱形输出波导，其中，拱柱形输入波导与拱柱形输出波导的尺寸一致，拱柱形混合等离激元波导的宽度小于拱柱形输入波导和拱柱形输出波导的宽度。
2.根据权利要求1所述的一种TM通偏振滤波器，其特征在于，所述拱柱形混合等离激元波导的一端通过第一楔形模式转换区域与拱柱形输入波导连接，拱柱形混合等离激元波导的另一端通过第二楔形模式转换区域与拱柱形输出波导连接。
3.根据权利要求2所述的一种TM通偏振滤波器，其特征在于，所述间隔层和金属层设置在楔形模式转换区域和拱柱形混合等离激元波导的上方。
4.根据权利要求1所述的一种TM通偏振滤波器，其特征在于，所述高折射率波导区域和金属层之间的空气构成低折射率层。
5.根据权利要求1所述的一种TM通偏振滤波器，其特征在于，所述衬底的材料为SiO2，所述支撑层的材料为ZnO，所述高折射率波导区域的材料为Si，所述间隔层的材料为Si3N4，金属层的材料为Ag。
6.根据权利要求1所述的一种TM通偏振滤波器，其特征在于，所述拱柱形混合等离激元波导的宽度的取值范围为100nm~200nm，拱柱形混合等离激元波导的矩形部分高度的取值范围为300nm~350nm，拱柱形混合等离激元波导的圆弧部分的高度等于拱柱形混合等离激元波导的宽度的一半，拱柱形混合等离激元波导的长度的取值范围为2500nm~3500nm。
7.根据权利要求1所述的一种TM通偏振滤波器，其特征在于，拱柱形输入波导的宽度的取值范围为400nm~500nm，拱柱形输入波导的矩形部分高度的取值范围为150nm~200nm，拱柱形输入波导的圆弧部分的高度等于拱柱形输入波导的宽度的一半，拱柱形输入波导的长度的取值范围为1000nm~2000nm。
8.根据权利要求2所述的一种TM通偏振滤波器，其特征在于，所述第一楔形模式转换区域的长度与第二楔形模式转换区域的长度一致，均为500nm。
9.根据权利要求6或7所述的一种TM通偏振滤波器，其特征在于，拱柱形混合等离激元波导的高度、拱柱形输入波导的高度和拱柱形输出波导的高度相等。
10.根据权利要求1所述的一种TM通偏振滤波器，其特征在于，支撑层之间的宽度范围为3500nm~4500nm。
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