[发明专利]激光加工装置

权利要求书

1.一种激光加工装置，其中，

是用于通过对对象物照射激光而在所述对象物形成改性区域的激光加工装置，

所述激光加工装置具备：

支撑部，其用于支撑所述对象物；

光源，其用于出射所述激光；

空间光调制器，其用于根据调制图案对从所述光源出射的所述激光进行调制并出射；

聚光部，其包含用于将从所述空间光调制器出射的所述激光向所述对象物聚光的聚光透镜；以及

控制部，其通过将图像信号输入所述空间光调制器，使所述空间光调制器显示与所述图像信号相应的所述调制图案，

所述控制部，通过控制所述支撑部和所述聚光部中的至少一个的移动，执行一边使所述激光的聚光点沿着沿所述对象物的激光入射面的X方向相对于所述对象物相对移动，一边对所述对象物照射所述激光的加工处理，

在构成所述图像信号的各个区域，设定有与所述调制图案的相位调制量对应的灰度等级值，

在所述加工处理中，所述控制部，通过将包含第1信号的所述图像信号输入所述空间光调制器，来使所述空间光调制器显示包含与所述第1信号相应的第1图案的所述调制图案，其中，所述第1信号的灰度等级值从与所述调制图案的第1方向上的一端对应的所述区域向与所述调制图案的所述第1方向上的另一端对应的所述区域，以一定的斜率从最小值到最大值进行变化。

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其中，

在所述加工处理中，所述控制部，以将包含用于将所述激光分支为多个加工光的第2图案的所述调制图案显示于所述空间光调制器的方式，将包含与所述第2图案对应的第2信号的所述图像信号输入所述空间光调制器。

3.根据权利要求2所述的激光加工装置，其中，

所述第1方向是与和所述激光的分支方向交叉的方向对应的方向。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的激光加工装置，其中，

在所述加工处理中，所述控制部，以将包含第3图案的所述调制图案显示于所述空间光调制器的方式，将包含与所述第3图案对应的第3信号的所述图像信号输入所述空间光调制器，其中，所述第3图案用于根据所述聚光透镜的径向上的位置而使所述激光的聚光位置变化。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的激光加工装置，其中，

所述控制部，在所述第1信号中，使灰度等级值从与所述调制图案的和所述第1方向交叉的第2方向上的一端对应的所述区域，向与所述调制图案的所述第2方向上的另一端对应的所述区域，以一定的斜率从最小值到最大值变化。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的激光加工装置，其中，

所述控制部，在所述第1信号中，使灰度等级值以在至少一个方向上具有多个周期的方式变化。