[发明专利]一种减振变频氦气压缩机系统及其控制方法

权利要求书

1.一种减振变频氦气压缩机系统，其特征在于，包括压缩泵、换热器、滤油器、吸附器以及平衡罐，所述压缩泵的冷冻油出口和氦气出口分别与换热器的两个入口连通，换热器的气路出口与滤油器连通，换热器的油路出口通过常开电磁阀与压缩泵通过油路连通，滤油器与吸附器通过气路连通，吸附器与进气连接管通过气路连通，进气连接管、低温泵、回气连接管、平衡罐及压缩泵顺次通过气路连通，平衡罐与压缩泵之间的气路与滤油器通过油路连通，滤油器上接有压力传感器Ph，平衡罐上接有压力传感器Pl，吸附器与滤油器之间的气路以及平衡罐与压缩泵之间的气路通过第一中间气路连通且第一中间气路上设置常闭电磁阀；

系统上电的初期，常开电磁阀和常闭电磁阀保持开启状态4～6s，压缩泵启动同一时刻，两个电磁阀切换为关闭状态，压缩泵以a Hz/s的升频速率升频至50Hz后，常开电磁阀切换为开启状态，常闭电磁阀维持关闭状态，系统进入运行工作状态，压缩泵以50Hz运行预设时间后将压力传感器Ph和压力传感器Pl的差值ΔP与预设值c、d对比，若ΔPc，则压缩泵升频bHz运行预设时间，若cΔPd，则压缩泵运行预设时间，若ΔPd，则压缩泵降频bHz运行预设时间；压缩泵停机的同一时刻，常开电磁阀切换为关闭状态，压缩泵以eHz/s的速度降速到0。

2.根据权利要求1所述的一种减振变频氦气压缩机系统，其特征在于，所述压缩泵的冷冻油出口与换热器的一个入口之间通过油路连通。

3.根据权利要求2所述的一种减振变频氦气压缩机系统，其特征在于，所述压缩泵与换热器的一个入口之间设置第一过滤器、第一节流孔，所述压缩泵、第一过滤器、第一节流孔及换热器的一个入口顺次通过油路连通。

4.根据权利要求1所述的一种减振变频氦气压缩机系统，其特征在于，所述压缩泵的氦气出口与换热器的另一个入口之间通过气路连通。

5.根据权利要求1所述的一种减振变频氦气压缩机系统，其特征在于，还包括第二节流孔、第二过滤器，所述平衡罐与压缩泵之间的气路、第二节流孔、第二过滤器及滤油器顺次通过油路连通。

6.根据权利要求1所述的一种减振变频氦气压缩机系统，其特征在于，还包括旁通阀，所述吸附器与滤油器之间的气路以及平衡罐与压缩泵之间的气路还通过第二中间气路连通且第二中间气路上设置旁通阀。

7.根据权利要求1所述的一种减振变频氦气压缩机系统，其特征在于，还包括补气阀，所述平衡罐的进气口通过气路与补气阀连通，所述补气阀所在气路上设置压力传感器Pl。

8.根据权利要求1所述的一种减振变频氦气压缩机系统，其特征在于，所述换热器通过冷却风机或冷却循环水换热。

9.根据权利要求1所述的一种减振变频氦气压缩机系统，其特征在于，所述a、e的范围均为0～5，c、d的范围均为1.0～3.0MPA，b的范围为0～10，述预设时间为1min。

10.根据权利要求1-9任一项所述的一种减振变频氦气压缩机系统的控制方法，其特征在于，所述压缩泵将低压氦气升压，冷冻油和氦气分别进入换热器，冷冻油完成换热后通过常开电磁阀继续回至压缩机泵中对电机和压缩工质进行散热，高压氦气经过换热后，进入滤油器去除混杂的冷冻油分子后进入吸附器中进一步纯化进入进气连接管后进入低温泵；进入低温泵内膨胀机端膨胀降压后的低压氦气通过回气连接管进入平衡罐中再回至压缩泵中，并将滤油器中滤除的冷冻油并联带回压缩泵中；系统上电的初期，常开电磁阀和常闭电磁阀保持开启状态4～6s，压缩泵启动同一时刻，两个电磁阀切换为关闭状态，压缩泵以aHz/s的升频速率升频至50Hz后，常开电磁阀切换为开启状态，常闭电磁阀维持关闭状态，系统进入运行工作状态，压缩泵以50Hz运行预设时间后将压力传感器Ph和压力传感器Pl的差值ΔP与预设值c、d对比，若ΔPc，则压缩泵升频bHz运行预设时间，若cΔPd，则压缩泵运行预设时间，若ΔPd，则压缩泵降频bHz运行预设时间；压缩泵停机的同一时刻，常开电磁阀切换为关闭状态，压缩泵以eHz/s的速度降速到0。