[发明专利]一种本征宽禁带半导体的制备方法及应用在审

专利信息
申请号: 202210223599.X 申请日: 2020-09-22
公开(公告)号: CN114639596A 公开(公告)日: 2022-06-17
发明(设计)人: 罗光富;刘凯 申请(专利权)人: 南方科技大学
主分类号: H01L21/02 分类号: H01L21/02;H01L21/38;C30B7/10;C30B29/16;C30B30/02;C30B31/22
代理公司: 深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325 代理人: 张美君
地址: 518000 广东省深*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 征宽禁带 半导体 制备 方法 应用
【权利要求书】:

1.一种本征宽禁带半导体的制备方法,其特征在于:在制备本征宽禁带半导体材料的过程中,通过电极在宽禁带半导体材料上施加制备偏压,所述制备偏压为-10~10伏;

若所述宽禁带半导体材料自发形成N型导电特性,则施加正向偏压;若所述宽禁带半导体材料自发形成P型导电特性,则施加负向偏压。

2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述宽禁带半导体材料的形态包括单晶、薄膜及纳米结构。

3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,通过水热法、熔融法或分子束外延生长方式,在电极施加的制备偏压下生长所述宽禁带半导体材料。

4.如权利要求1~3任意一项所述的方法在制备本征以及P型掺杂氧化锌单晶、薄膜或纳米结构中的应用。

5.根据权利要求4所述的应用,其特征在于,在氧化锌的生成区域施加制备偏压,所述制备偏压为1~3伏。

6.根据权利要求5所述的应用,其特征在于,所述P型掺杂元素包括Li、Na、Ag、N、P、As中的一种或多种元素。

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