[发明专利]一种本征宽禁带半导体的制备方法及应用在审
申请号: | 202210223599.X | 申请日: | 2020-09-22 |
公开(公告)号: | CN114639596A | 公开(公告)日: | 2022-06-17 |
发明(设计)人: | 罗光富;刘凯 | 申请(专利权)人: | 南方科技大学 |
主分类号: | H01L21/02 | 分类号: | H01L21/02;H01L21/38;C30B7/10;C30B29/16;C30B30/02;C30B31/22 |
代理公司: | 深圳众鼎专利商标代理事务所(普通合伙) 44325 | 代理人: | 张美君 |
地址: | 518000 广东省深*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 征宽禁带 半导体 制备 方法 应用 | ||
1.一种本征宽禁带半导体的制备方法,其特征在于:在制备本征宽禁带半导体材料的过程中,通过电极在宽禁带半导体材料上施加制备偏压,所述制备偏压为-10~10伏;
若所述宽禁带半导体材料自发形成N型导电特性,则施加正向偏压;若所述宽禁带半导体材料自发形成P型导电特性,则施加负向偏压。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述宽禁带半导体材料的形态包括单晶、薄膜及纳米结构。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,通过水热法、熔融法或分子束外延生长方式,在电极施加的制备偏压下生长所述宽禁带半导体材料。
4.如权利要求1~3任意一项所述的方法在制备本征以及P型掺杂氧化锌单晶、薄膜或纳米结构中的应用。
5.根据权利要求4所述的应用,其特征在于,在氧化锌的生成区域施加制备偏压,所述制备偏压为1~3伏。
6.根据权利要求5所述的应用,其特征在于,所述P型掺杂元素包括Li、Na、Ag、N、P、As中的一种或多种元素。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造