[发明专利]微差压传感器组件及电子设备

说明书

本申请提供一种微差压传感器组件及电子设备。微差压传感器组件包括基板、微机电系统MEMS模块、处理器和MOS管。MEMS模块包括第一温度检测单元、第二温度检测单元及加热单元，第一温度检测单元、第二温度检测单元及加热单元均设置于MEMS模块的感测区域。在本方案中，处理器基于第一温度检测单元、第二温度检测单元的温差，可以实现流量的高灵敏检测。另外，处理器基于该温差，可以通过MOS管控制受控模块的有效电流值，有利于提高对受控模块进行控制的精确度与可靠性。

技术领域

本申请涉及传感器技术领域，具体而言，涉及一种微差压传感器组件及电子设备。

背景技术

目前微差压传感器有两种，一类基于压力敏感原理的差压传感器，此类技术已经成熟而且运用较广，但其零点稳定性差，对测量超低差压运用，如在电子烟中测量低于500Pa的差压，存在测量精度差的问题。另外一种是基于热式流量原理的微差压传感器，该方案具有较高的测量精度，但封装尺寸大以及功耗大，不便于安装在电子烟类的小尺寸电子设备中。

发明内容

本申请的目的在于提供一种微差压传感器组件及电子设备，有利于在小尺寸的电子设备中实现高精度的流量检测。

为了实现上述目的，本申请提供的技术方案包括：

第一方面，提供一种微差压传感器组件，包括基板，以及均设置于所述基板上的微机电系统MEMS模块、处理器和MOS管；所述MEMS模块包括第一温度检测单元、第二温度检测单元及加热单元，所述第一温度检测单元、所述第二温度检测单元及所述加热单元均设置于所述MEMS模块的感测区域；所述处理器用于根据所述第一温度检测单元及所述第二温度检测单元感测的温差，通过所述MOS管控制受控模块的有效电流值，其中，所述温差是在所述加热单元运行时且有流体流经所述MEMS模块的所述感测区域时形成的，所述MOS管用于作为受控模块的控制开关。

在上述的实施方式中，处理器基于第一温度检测单元、第二温度检测单元的温差，可以实现流量的高灵敏检测。另外，处理器基于该温差，可以通过MOS管控制受控模块的有效电流值，有利于提高对受控模块进行控制的精确度与可靠性。

结合第一方面，作为一种可选的实施方式，所述微差压传感器组件还包括设置于所述基板上的绝缘封装结构，所述绝缘封装结构包裹所述MEMS模块、所述处理器和所述MOS管，其中，所述MEMS模块的所述感测区域露出于所述绝缘封装结构。

在上述的实施方式中，绝缘封装结构可以对MEMS模块、处理器和MOS管起到保护作用，另外，MEMS模块的感测区域对外暴露，方便对流体流动进行感测。

结合第一方面，作为一种可选的实施方式，所述绝缘封装结构具有沟槽，所述MEMS模块的所述感测区域位于所述沟槽的槽底并对外暴露。

在上述的实施方式中，感测区域位于沟槽的槽底，如此，绝缘封装结构的沟槽可以对MEMS模块的感测区域起到保护作用，使得感测区域不容易受到外力破坏。另外，沟槽可以进行流体的导流，使得流体可以在沟槽的导流作用下，经过MEMS模块的感测区域，有利于提高检测精度。

结合第一方面，作为一种可选的实施方式，所述微差压传感器组件还包括设置于所述基板上的壳体，用于盖住所述绝缘封装结构，且所述壳体与所述绝缘封装结构之间具有空腔；

所述壳体设置有与所述空腔贯通第一通孔及第二通孔，所述壳体和所述绝缘封装结构通过所述第一通孔、所述第二通孔及所述空腔，形成供流体流动的通道，其中，所述感测区域位于所述壳体内且在所述通道中。

在上述的实施方式中，壳体可以盖住MEMS模块的感测区域，以进一步对感测区域进行保护，避免感测区域受到外力破坏，提升产品的可靠性。

结合第一方面，作为一种可选的实施方式，所述第一通孔和/或所述第二通孔设置有防水透气膜。