[发明专利]一种新型TOPCon硼扩散石英管装置在审
| 申请号： | 202210201135.9 | 申请日： | 2022-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN114566428A | 公开（公告）日： | 2022-05-31 |
| 发明（设计）人： | 谢耀辉;曾玉婷;王琳琳;张鹏;曹其伟 | 申请（专利权）人： | 江西中弘晶能科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/223 | 分类号： | H01L21/223;H01L31/18 |
| 代理公司： | 南昌合达信知识产权代理事务所(普通合伙) 36142 | 代理人： | 刘丹 |
| 地址： | 344000 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 topcon 扩散 石英管 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种新型TOPCon硼扩散石英管装置，其特征在于，包括外石英管和内石英管，所述外石英管的尾端设有一条外石英管尾气管，所述内石英管的尾端设有两条平行的内石英管尾气管，所述外石英管尾气管和内石英管尾气管位于同侧，所述外石英管套设于所述内石英管的外表面，并且所述外石英管的内表面与所述内石英管的外表面之间形成空腔状的中间气体区域。
2.根据权利要求1所述的一种新型TOPCon硼扩散石英管装置，其特征在于，所述新型TOPCon硼扩散石英管装置为尺寸166mm*166mm硅片的石英管。
3.根据权利要求1所述的一种新型TOPCon硼扩散石英管装置，其特征在于，所述新型TOPCon硼扩散石英管装置为尺寸182mm*182、210mm*210mm硅片的石英管。
4.根据权利要求2所述的一种新型TOPCon硼扩散石英管装置，其特征在于，所述内石英管的内直径为330mm，所述外石英管的内直径为410mm，厚度均为3mm。
5.根据权利要求1所述的一种新型TOPCon硼扩散石英管装置，其特征在于，所述外石英管尾气管接通氮气或是惰性气体中的一种，所述内石英管尾气管接通正常工艺反应气体，随后即可进行正常硼掺杂扩散反应过程。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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