[发明专利]一种二维压电对称驱动微纳定位平台

权利要求书

1.一种二维压电对称驱动微纳定位平台，其特征在于，包括：X方向驱动单元(5)、Y方向驱动单元(11)和连接组件；所述X方向驱动单元(5)和所述Y方向驱动单元(11)通过所述连接组件在竖直方向连接；

所述X方向驱动单元(5)包括：工作平台(4)和两个第一桥式位移放大机构(6)，两个所述第一桥式位移放大机构(6)对称串联设置在所述工作平台(4)的两端；

所述Y方向驱动单元(11)包括：连接梁(9)和两个第二桥式位移放大机构(12)，两个所述第二桥式位移放大机构(12)对称串联设置在所述连接梁(9)的两端；

所述工作平台(4)和所述连接梁(9)平行正交。

2.根据权利要求1所述的二维压电对称驱动微纳定位平台，其特征在于，所述第一桥式位移放大机构(6)包括：压电叠堆(3)、两个弹性梁(13)和第一连接孔(2)；所述两个弹性梁(13)对称设置在所述压电叠堆(3)的两侧；所述工作平台(4)与其中一个所述弹性梁(13)连接，所述第一连接孔(2)设置在另一个所述弹性梁(13)的一侧。

3.根据权利要求2所述的二维压电对称驱动微纳定位平台，其特征在于，所述第一桥式位移放大机构(6)还包括调整螺栓(8)，所述调整螺栓(8)与所述压电叠堆(3)的一端连接。

4.根据权利要求1所述的二维压电对称驱动微纳定位平台，其特征在于，所述第二桥式位移放大机构(12)包括：压电叠堆(3)、两个弹性梁(13)和固定孔(10)；所述两个弹性梁(13)对称设置在所述压电叠堆(3)的两侧；所述连接梁(9)与其中一个所述弹性梁(13)连接，所述固定孔(10)设置在另一个所述弹性梁(13)的一侧。

5.根据权利要求4所述的二维压电对称驱动微纳定位平台，其特征在于，所述第二桥式位移放大机构(12)还包括调整螺栓(8)，所述调整螺栓(8)与所述压电叠堆(3)的一端连接。

6.根据权利要求4所述的二维压电对称驱动微纳定位平台，其特征在于，所述固定孔(10)通过螺栓(1)与基座固定连接。

7.根据权利要求2所述的二维压电对称驱动微纳定位平台，其特征在于，所述连接梁(9)的两端分别设置有一个第二连接孔(7)。

8.根据权利要求7所述的二维压电对称驱动微纳定位平台，其特征在于，所述连接组件为螺栓(1)，所述螺栓(1)先后穿过所述第一连接孔(2)和所述第二连接孔(7)。

9.根据权利要求2或权利要求4所述的二维压电对称驱动微纳定位平台，其特征在于，所述压电叠堆(3)的最大自由伸长行程是20μm。

10.根据权利要求1所述的二维压电对称驱动微纳定位平台，其特征在于，所述X方向驱动单元(5)和所述Y方向驱动单元(11)采用金属制成。