[发明专利]微流控装置及其制作方法在审

专利信息
申请号: 202210185601.9 申请日: 2022-02-28
公开(公告)号: CN114534811A 公开(公告)日: 2022-05-27
发明(设计)人: 李伟;章凯迪;白云飞;林柏全;雷登明 申请(专利权)人: 上海天马微电子有限公司
主分类号: B01L3/00 分类号: B01L3/00
代理公司: 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 代理人: 于淼;胡振欣
地址: 201201 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 微流控 装置 及其 制作方法
【权利要求书】:

1.一种微流控装置,其特征在于,包括:

第一基板,所述第一基板包括至少一个通道和至少一个第一凸起结构,沿垂直于所述第一基板所在平面的方向上,所述通道未贯穿所述第一基板,至少一个所述通道内设置有至少一个所述第一凸起结构;

第二基板,与所述第一基板相对设置,且所述第二基板位于所述第一基板设有所述通道的一侧。

2.根据权利要求1所述的微流控装置,其特征在于,

至少一个所述通道包括一个第一通道、与所述第一通道相贯通的至少两个第二通道,相邻两个所述第二通道之间设有一个所述第一凸起结构;

所述第一凸起结构包括沿第一方向排列的第一子部和第二子部,所述第二子部位于所述第一子部靠近所述第一通道的一侧;

沿第二方向,所述第二子部的至少部分的宽度小于所述第一子部的宽度,其中,所述第一方向和所述第二方向相交。

3.根据权利要求2所述的微流控装置,其特征在于,

所述第二子部包括两个第一侧面,沿所述第二方向,两个所述第一侧面分别位于所述第二子部的两侧;

沿所述第一子部指向所述第二子部的方向上,两个所述第一侧面朝向靠近彼此的方向延伸。

4.根据权利要求3所述的微流控装置,其特征在于,

所述第二子部在所述第二基板所在平面的垂直投影图案为三角形。

5.根据权利要求3所述的微流控装置,其特征在于,

所述第一侧面包括第一边缘,沿所述第一方向,所述第一边缘位于所述第一侧面远离所述第一子部的一侧;

沿所述第一基板指向所述第二基板的方向上,所述第一边缘朝向靠近所述第一子部的方向延伸。

6.根据权利要求5所述的微流控装置,其特征在于,

所述第一边缘为台阶形折线结构。

7.根据权利要求2所述的微流控装置,其特征在于,

沿垂直于所述第二基板所在平面的方向上,所述第一子部的高度与所述通道的高度相同。

8.根据权利要求2所述的微流控装置,其特征在于,

至少一个所述通道还包括多个第三通道,一个所述第二通道与至少两个所述第三通道相贯通,相邻两个所述第三通道之间设有一个所述第一凸起结构。

9.根据权利要求2所述的微流控装置,其特征在于,

至少一个所述第二通道内设有检测区。

10.根据权利要求1所述的微流控装置,其特征在于,

所述第一基板还包括进样口和出样口,沿垂直于所述第一基板所在平面的方向上,所述进样口和所述出样口均贯穿所述第一基板,所述通道的一端与所述进样口相贯通,所述通道的另一端与所述出样口相贯通。

11.根据权利要求10所述的微流控装置,其特征在于,

所述进样口与所述通道一一对应,所述通道和与其对应的所述进样口相贯通。

12.根据权利要求10所述的微流控装置,其特征在于,

所述第一基板远离所述第二基板的一侧设有第二凸起结构,所述第二凸起结构至少部分围绕所述进样口设置。

13.根据权利要求12所述的微流控装置,其特征在于,

所述第二凸起结构为环状结构。

14.根据权利要求10所述的微流控装置,其特征在于,

所述出样口的数量为一个,所述通道均与同一个所述出样口相贯通。

15.根据权利要求1所述的微流控装置,其特征在于,

所述第二基板包括衬底基板、在所述衬底基板靠近所述第一基板的一侧依次设置的电路层、电极层和疏水层;

所述电极层包括阵列排布的多个驱动电极。

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