[发明专利]微流控装置及其制作方法在审
申请号: | 202210185601.9 | 申请日: | 2022-02-28 |
公开(公告)号: | CN114534811A | 公开(公告)日: | 2022-05-27 |
发明(设计)人: | 李伟;章凯迪;白云飞;林柏全;雷登明 | 申请(专利权)人: | 上海天马微电子有限公司 |
主分类号: | B01L3/00 | 分类号: | B01L3/00 |
代理公司: | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11603 | 代理人: | 于淼;胡振欣 |
地址: | 201201 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 微流控 装置 及其 制作方法 | ||
1.一种微流控装置,其特征在于,包括:
第一基板,所述第一基板包括至少一个通道和至少一个第一凸起结构,沿垂直于所述第一基板所在平面的方向上,所述通道未贯穿所述第一基板,至少一个所述通道内设置有至少一个所述第一凸起结构;
第二基板,与所述第一基板相对设置,且所述第二基板位于所述第一基板设有所述通道的一侧。
2.根据权利要求1所述的微流控装置,其特征在于,
至少一个所述通道包括一个第一通道、与所述第一通道相贯通的至少两个第二通道,相邻两个所述第二通道之间设有一个所述第一凸起结构;
所述第一凸起结构包括沿第一方向排列的第一子部和第二子部,所述第二子部位于所述第一子部靠近所述第一通道的一侧;
沿第二方向,所述第二子部的至少部分的宽度小于所述第一子部的宽度,其中,所述第一方向和所述第二方向相交。
3.根据权利要求2所述的微流控装置,其特征在于,
所述第二子部包括两个第一侧面,沿所述第二方向,两个所述第一侧面分别位于所述第二子部的两侧;
沿所述第一子部指向所述第二子部的方向上,两个所述第一侧面朝向靠近彼此的方向延伸。
4.根据权利要求3所述的微流控装置,其特征在于,
所述第二子部在所述第二基板所在平面的垂直投影图案为三角形。
5.根据权利要求3所述的微流控装置,其特征在于,
所述第一侧面包括第一边缘,沿所述第一方向,所述第一边缘位于所述第一侧面远离所述第一子部的一侧;
沿所述第一基板指向所述第二基板的方向上,所述第一边缘朝向靠近所述第一子部的方向延伸。
6.根据权利要求5所述的微流控装置,其特征在于,
所述第一边缘为台阶形折线结构。
7.根据权利要求2所述的微流控装置,其特征在于,
沿垂直于所述第二基板所在平面的方向上,所述第一子部的高度与所述通道的高度相同。
8.根据权利要求2所述的微流控装置,其特征在于,
至少一个所述通道还包括多个第三通道,一个所述第二通道与至少两个所述第三通道相贯通,相邻两个所述第三通道之间设有一个所述第一凸起结构。
9.根据权利要求2所述的微流控装置,其特征在于,
至少一个所述第二通道内设有检测区。
10.根据权利要求1所述的微流控装置,其特征在于,
所述第一基板还包括进样口和出样口,沿垂直于所述第一基板所在平面的方向上,所述进样口和所述出样口均贯穿所述第一基板,所述通道的一端与所述进样口相贯通,所述通道的另一端与所述出样口相贯通。
11.根据权利要求10所述的微流控装置,其特征在于,
所述进样口与所述通道一一对应,所述通道和与其对应的所述进样口相贯通。
12.根据权利要求10所述的微流控装置,其特征在于,
所述第一基板远离所述第二基板的一侧设有第二凸起结构,所述第二凸起结构至少部分围绕所述进样口设置。
13.根据权利要求12所述的微流控装置,其特征在于,
所述第二凸起结构为环状结构。
14.根据权利要求10所述的微流控装置,其特征在于,
所述出样口的数量为一个,所述通道均与同一个所述出样口相贯通。
15.根据权利要求1所述的微流控装置,其特征在于,
所述第二基板包括衬底基板、在所述衬底基板靠近所述第一基板的一侧依次设置的电路层、电极层和疏水层;
所述电极层包括阵列排布的多个驱动电极。
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