[发明专利]升降流转平台

说明书

本发明涉及一种升降流转平台，其能够提高芯片流转的效率和安全性。该升降流转平台包括转接装置、具有多层结构的定位盘装置以及升降电梯装置。该升降电梯装置设置于该转接装置和该定位盘装置之间，并且该升降电梯装置包括转送组件、升降组件以及升降限位组件，其中该转送组件和该升降限位组件被对应地设置于该升降组件，并且该转送组件包括转送支架组件、平移输送组件、电机组件以及顶出组件，其中该平移输送组件、该电机组件以及该顶出组件被对应地设置于该转送支架组件，并且该电机组件可驱动地连接于该平移输送组件，用于驱动该平移输送组件作业以输送该料盘，并且该顶出组件用于限制该料盘在该平移输送组件上的位置。

技术领域

本发明涉及芯片检测技术领域，特别是涉及一种升降流转平台。

背景技术

近几年，随着半导体技术的快速发展，对芯片的检测效率有了更高的需求。虽然在现阶段工业4.0国家战略的大背景下，高速发展的自动化生产方式能够解决芯片检测的效率问题，但现有的机器设备，一旦某个部件发生故障，往往会影响整个机器设备的工作效率和效果。

在芯片检测行业中，通常需要将芯片运输至测试机内部以进行测试。由于传统水平布置的测试机和运输线的布局占用的设备面积太大，非常浪费，因此现有设备转而开发立体式的机架和多层式结构，达到提升产能的目的。例如，现有的设备中设置垂直搬运的机械手以配合按列排布的多个测试机使用。一方面，垂直搬运的机械手虽然能够解决空间利用率和效率不高的问题，但其在吸附芯片后需要抬升和/或下降，并且为了达到更高的UPH(产能)而不得不急起急停，这就要求机械手需要克服自身重力所带来的巨大惯量才能够实现很快的加减速。换言之，这种垂直搬运的机械手在提速和减速的过程中存在瓶颈，限制着效率。另一方面，垂直搬运的机械手在吸附芯片后的抬升和下降因需要克服自身重力来实现高速状态的急起急停，往往满足提升UPH后同时克服巨大惯量，而垂直负载会对机械手定位的精度产生影响，且速度越快惯量就越大，进而造成重复定位精度严重降低的问题。因此如何安全高效地将芯片搬运至多层工位已经成为当下亟需解决的问题。

发明内容

本发明的一优势在于提供一种升降流转平台，其能够提高芯片流转的效率和安全性。

本发明的另一优势在于提供一种升降流转平台，其中，在本发明的一实施例中，所述升降流转平台能够简化流转结构，降低调试与匹配软件的流程难度，使得该平台无论在机械结构上还是机构动作上的可靠程度更高、功能更稳定。

本发明的另一优势在于提供一种升降流转平台，其中，在本发明的一实施例中，所述升降流转平台能够解决垂直机械手因自身重力惯量而存在的搬运定位精度变差问题，有助于提高芯片在搬运过程中的定位精度。

本发明的另一优势在于提供一种升降流转平台，其中，在本发明的一实施例中，所述升降流转平台能够通过直接上下、左右输送料盘的结构动作方式，使平台的整体结构具有较大的紧凑度，降低了布局难度。

本发明的另一优势在于提供一种升降流转平台，其中，在本发明的一实施例中，所述升降流转平台能够通过后顶、侧顶以及压盘等结构使料盘的运输具备更加稳定、安全等能力，提高流转稳定性和安全性。

本发明的另一优势在于提供一种升降流转平台，其中，在本发明的一实施例中，所述升降流转平台能够由固定位置向不同高度位置输送料盘，有助于大幅减小平台占地面积。

本发明的另一优势在于提供一种升降流转平台，其中，在本发明的一实施例中，所述升降流转平台能够稳定地输送料盘，避免出现料盘掉落或盘内芯片散落等异常问题。

本发明的另一优势在于提供一种升降流转平台，其中，在本发明的一实施例中，所述升降流转平台能够提高料盘的输送效率，减少芯片流转时间。

本发明的另一优势在于提供一种升降流转平台，其中，在本发明的一实施例中，所述升降流转平台能够具备更大的工位精度偏差，有助于在保证流转功能的同时，降低了接口工位的设计与加工难度。