[发明专利]挥发性有机化合物的去除系统及其方法

说明书

一种挥发性有机化合物的去除系统及其方法，挥发性有机化合物(volatile organic compound；VOC)去除系统从半导体制程的废液中去除VOC。VOC去除系统量测当前VOC去除参数且将其传递至经机器学习过程训练后的分析模型。分析模型基于当前VOC去除参数预测未来VOC去除效率。分析模型基于当前VOC去除参数及预测的未来VOC去除效率产生调整参数。控制系统基于调整参数调整VOC去除系统。VOC去除系统能从制程气体中有效去除VOC。

技术领域

本揭露是关于半导体制程废液净化的领域。

背景技术

多种半导体制程用于制造集成电路。此类制程可包括薄膜沉积制程、蚀刻制程、退火制程、微影制程及许多其他类型的制程。半导体制程常常产生废液。这些废液有时候包括高浓度挥发性有机化合物(volatile organic compound；VOC)。若释放至大气中，挥发性有机化合物是有害的。

发明内容

根据本揭露的一些实施例中，一种挥发性有机化合物(volatile organiccompound；VOC)去除方法包含：利用VOC去除系统从半导体制程的废液中去除多个VOC；将VOC去除系统的多个参数提供给经机器学习过程训练后的分析模型；利用分析模型基于参数产生预测的未来VOC去除效率；利用分析模型基于预测的未来VOC去除效率及参数产生多个调整参数；及基于调整参数调整VOC去除系统。

根据本揭露的一些实施例中，一种挥发性有机化合物(volatile organiccompound；VOC)去除系统包含VOC浓缩器转子、脱附风扇、燃烧器及控制系统。VOC浓缩器转子配置以从来自半导体制程的废液的第一部分中吸附多个VOC且将VOC脱附至废液的第二部分。脱附风扇配置以驱动废液的第二部分通过VOC浓缩器转子的脱附区。燃烧器配置以燃烧来自废液的第二部分的VOC。控制系统包含分析模型，分析模型经机器学习过程进行训练，且配置以分析VOC浓缩器转子、脱附风扇及燃烧器的多个参数，并配置以基于参数产生预测的未来VOC去除效率，并基于参数及预测的未来VOC去除效率产生多个调整参数。控制系统配置以基于调整参数调整VOC浓缩器转子、脱附风扇及燃烧器的操作。

根据本揭露的一些实施例中，一种挥发性有机化合物(volatile organiccompound；VOC)去除方法包含：将来自半导体制程的废液传递至VOC浓缩器转子；利用VOC浓缩器转子从废液的第一部分中吸附多个VOC；将废液的第二部分自VOC浓缩器转子传递至加热器；将废液的第二部分自加热器传递至VOC浓缩器转子；通过操作与VOC浓缩器转子相邻的脱附风扇将VOC自VOC浓缩器转子脱附至废液的第二部分；利用燃烧器燃烧来自废液的第二部分的VOC；量测VOC浓缩器转子的温度；利用经机器学习过程训练后的分析模型至少部分地基于VOC浓缩器转子的温度产生预测的未来VOC去除效率；利用分析模型基于预测的未来VOC去除效率及VOC浓缩器转子的温度产生多个调整参数；及基于调整参数调整VOC浓缩器转子的旋转速度及燃烧器的温度。

附图说明

图1是根据一个实施例的挥发性有机化合物(volatile organic compound；VOC)去除系统的方块图；

图2是根据一个实施例的VOC去除系统的控制系统的方块图；

图3是根据一个实施例的分析模型的方块图；

图4是以机器学习过程训练分析模型的编码器的过程的流程图；

图5是以机器学习过程训练分析模型的解码器的过程的流程图；

图6是根据一个实施例用于操作VOC去除系统的方法的流程图；

图7是根据一个实施例用于操作VOC去除系统的方法的流程图。

【符号说明】

100:VOC去除系统

102:半导体制程