[发明专利]晶圆测试数据处理方法

说明书

公开了晶圆测试数据处理方法，方法中，每片晶圆测试完成后，探针生成第一文件，测试机生成第二文件，探针台上抛第一文件到服务器指定的路径，实时监听所述路径下是否有文件异动以判断第一文件是否上传完成，当监听到第一文件已经上传完毕后发起处理请求，基于处理请求加工第一文件得到相关联的数据信息，基于取得的信息获取所述第二文件，解析所述第二文件获取最终数据信息。

技术领域

本发明属于晶圆测试技术领域，尤其涉及一种晶圆测试数据处理方法。

背景技术

现有技术中，晶圆每片测完后，探针台机器会上抛一份Wafer Map文件到指定目录，此文件包含坐标X，Y，及HardBin相关信息，在服务器上挂载定时任务，任务内容为每10分钟去服务器的指定目录进行遍历文件操作。如此目录下有文件则读取文件内容获取数据，读取的信息包含批次信息，及对当片晶圆对应位置的X，Y，HardBin等信息。依取得的批次信息去数据表中去查询，把数据信息进行加工后入表再生成文件抛给客户，其中文件主要包含的是HardBin信息。因此，现有技术的晶圆测试后获取的资料是探针台端生成的HardBin相关的测试资料。因HardBin的对应的BIN值一般在256，扩展的情况下可支持到1024；测试机端生的测试数据文件中包含SoftBin信息；无法满足将SoftBin相关的信息实时传送的需求。

在背景技术部分中公开的上述信息仅仅用于增强对本发明背景的理解，因此可能包含不构成本领域普通技术人员公知的现有技术的信息。

发明内容

本发明的目的是提供一种晶圆测试数据处理方法，解决了无法实时传送的问题。为了实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

本发明的一种晶圆测试数据处理方法包括：

每片晶圆测试完成后，探针台机器生成第一文件，测试机生成第二文件；

探针台机器上抛第一文件到服务器指定的路径；

实时监听所述路径下是否有文件异动以判断第一文件是否上传完成，当监听到第一文件已经上传完成后发起处理请求；

基于处理请求加工第一文件得到相关联的数据信息，基于取得的信息获取所述第二文件，解析所述第二文件获取数据信息。

所述的一种晶圆测试数据处理方法中，所述第一文件为探针台生成的文件。

所述的一种晶圆测试数据处理方法中，所述第二文件包括stdf，txt等格式的测试数据文件。

所述的一种晶圆测试数据处理方法中，数据信息包括坐标X，Y，SoftBin信息。

在上述技术方案中，本发明提供的一种晶圆测试数据处理方法，具有以下有益效果：本发明能够实现每片晶圆测试完成后，实时去对应的测试机台上去抓取当片的测试资料文件。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明中晶圆测试数据处理方法的流程示意图。

具体实施方式

为使本发明实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施方式对本发明实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本发明一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本发明中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本发明保护的范围。