[发明专利]一种复合石英玻璃板及其制备方法

权利要求书

1.一种复合石英玻璃板的制备方法，其特征在于，所述复合石英玻璃板为2层以上石英玻璃板复合而成，包括以下步骤:将石英玻璃板夹紧，对石英玻璃板加热烧结。

2.如权利要求1所述的复合石英玻璃板的制备方法，其特征在于，所使用的石英玻璃板为1种或2种以上的石英玻璃材质，石英玻璃材质为透明石英玻璃板、不透明石英玻璃板、高透石英玻璃板、红黑石英玻璃板、乳白石英玻璃板、合成石英玻璃石英玻璃板、滤紫外石英玻璃板、普通石英板、高纯石英板和/或掺杂石英玻璃板。

3.如权利要求2所述的复合石英玻璃板的制备方法，其特征在于，加热方法为燃烧加热或电加热，所述加热方法为局部加热和/或整体加热。

4.如权利要求3所述的复合石英玻璃板的制备方法，其特征在于，复合石英玻璃板加工环境为真空环境、大气环境或惰性气体。

5.如权利要求4所述的复合石英玻璃板的制备方法，其特征在于，所述加热方法为燃烧加热，将石英玻璃板通过夹具夹牢固，使用张紧轮将石英玻璃板张紧，张紧轮压力为5-8N,火焰温度控制在2300℃～2500℃，石英板过火速度2～5cm/min，燃烧气体和助燃气体压力≥0.5Mpa。

6.如权利要求4所述的复合石英玻璃板的制备方法，其特征在于，所述加热方法电加热，在高温真空炉中进行，将石英玻璃板在高温真空炉中堆叠放置，抽真空，进行加热，达到一定温度后，进行增压，然后冷却。

7.如权利要求6所述的复合石英玻璃板的制备方法，其特征在于，抽真空，达到真空度1pa后，开始进行加热，热功率曲线热场温区温度≤1000℃，升温速度控制在15℃/min以内；热场温区温度1000℃T≤1400℃，升温速度控制在10℃/min以内；热场温区温度1400℃T≤1900℃，升温速度控制在5℃/min以内，加热达到目标温度后；保持温度10-30min。

8.如权利要求7所述的复合石英玻璃板的制备方法，其特征在于，使用惰性气体对炉内进行增压，升压速度低于5000Pa/min，达到5大气压以下目标压力后；逐步控制使温度冷却，速度控制在5℃/min以内；石英玻璃板中心温度低于150℃，打开炉门。

9.一种如权利要求1-8之一所述的制备方法制得的复合石英玻璃板。