[发明专利]一种高损伤阈值红外双激光通道滤光片及其制备方法在审
| 申请号： | 202210151537.2 | 申请日： | 2022-02-18 |
| 公开（公告）号： | CN114637065A | 公开（公告）日： | 2022-06-17 |
| 发明（设计）人： | 范鹏;姜海;熊峰;刘俞含 | 申请（专利权）人： | 湖南麓星光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G02B5/26;C23C14/34;C23C14/08;C23C14/12 |
| 代理公司： | 长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114 | 代理人： | 张伟 |
| 地址： | 410004 湖南省长沙市天心区新岭路6*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 损伤 阈值 红外 激光 通道 滤光 及其 制备 方法 | ||
1.一种高损伤阈值红外双激光通道滤光片，其特征在于：由基底及其表面的反射膜系构成；所述反射膜系由H层和L层交替叠加构成；
所述反射膜系具有以下结构：
SUB|0.92(HL)^22a1(HL)^n a2(HL)^n a3(HL)^n a4(HL)^n a5(HL)^n|AIR；
其中，
SUB表示基底，AIR表示空气，n表示反射膜系中(HL)的重复次数；
a1～a5表示反射膜系的中心波长位置为反射膜系中心波长λ的倍数；
n取值在20～25之间，H层和L层交替叠加总层数不低于222层；
a1～a5各自的取值在0～2之间；
H表示一个光学厚度的Ta2O5膜层；
L表示一个光学厚度的聚对苯二甲酸乙二醇酯膜层。
2.根据权利要求1所述的一种高损伤阈值红外双激光通道滤光片，其特征在于：所述基底为单晶硅、蓝宝石或K9玻璃。
3.根据权利要求1所述的一种高损伤阈值红外双激光通道滤光片，其特征在于：所述Ta2O5膜层的1/4光学厚度为188.207nm～448.52nm。
4.根据权利要求1所述的一种高损伤阈值红外双激光通道滤光片，其特征在于：所述聚对苯二甲酸乙二醇酯膜层的1/4光学厚度为251.2nm～585.13nm。
5.根据权利要求1所述的一种高损伤阈值红外双激光通道滤光片，其特征在于：所述Ta2O5在3.4～3.6μm波段范围内，折射率n＝2.0066，透射率T＝0.91018；所述聚对苯二甲酸乙二醇酯在3.4～3.6μm波段范围内，折射率n＝1.5308～1.5381，透射率T＝0.97060～0.99381。
6.权利要求1～5任一项所述的一种高损伤阈值红外双激光通道滤光片，其特征在于：在基底表面通过离子溅射镀膜方式交替镀制Ta2O5膜层和聚对苯二甲酸乙二醇酯膜层，即得。
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