[发明专利]一种硅片快速冷却装置及其冷却方法

权利要求书

1.一种硅片快速冷却装置，包括外框(1)和下冷却组件(6)，其特征在于：所述外框(1)的两端转动连接于驱动轴(2)，且驱动轴(2)的表面套设有轴承(3)，所述驱动轴(2)的表面连接有传输带(4)，所述轴承(3)的表面开设有管槽(5)，所述下冷却组件(6)设置于管槽(5)内部，所述下冷却组件(6)包括第一冷却管(601)、流量计(602)、第一换热器(603)、透气吸水棉(604)和撕扯标线(605)，所述第一冷却管(601)一端连接有流量计(602)，且流量计(602)的右端连接有第一换热器(603)，所述第一冷却管(601)的外表面设置有透气吸水棉(604)，且透气吸水棉(604)的表面设置有撕扯标线(605)，所述外框(1)的顶部固定有电动伸缩杆(7)，且电动伸缩杆(7)的顶部连接有托盘(8)，所述托盘(8)上表面连接有第二换热器(9)，且第二换热器(9)的底部连接有第二冷却管(10)。

2.根据权利要求1所述的一种硅片快速冷却装置，其特征在于：所述第一冷却管(601)的一端通过流量计(602)与第一换热器(603)的进水端连接，且第一冷却管(601)另一端与第一换热器(603)的出水端连接，而且第一换热器(603)与外框(1)固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅片快速冷却装置，其特征在于：所述透气吸水棉(604)表面呈蜂窝孔状结构，且透气吸水棉(604)通过轴承(3)与驱动轴(2)转动连接。

4.根据权利要求1所述的一种硅片快速冷却装置，其特征在于：所述第一冷却管(601)之间等距分布于驱动轴(2)表面，且传输带(4)位于第一冷却管(601)之间。

5.根据权利要求1所述的一种硅片快速冷却装置，其特征在于：所述第二冷却管(10)与传输带(4)呈平行分布，且第二冷却管(10)于托盘(8)下表面呈“W”状分布。

6.根据权利要求1所述的一种硅片快速冷却装置，其特征在于：所述传输带(4)表面设置有硅盒组件(11)，所述硅盒组件(11)包括盒体(1101)、保护网片(1102)、微型推杆(1103)、温度传感器(1104)、提示绿灯(1105)和提示红灯(1106)，所述盒体(1101)的内部设置有保护网片(1102)，且盒体(1101)的右侧连接有微型推杆(1103)，所述盒体(1101)的左侧中部设置有温度传感器(1104)，且温度传感器(1104)的两侧分别设置有提示绿灯(1105)和提示红灯(1106)。

7.根据权利要求6所述的一种硅片快速冷却装置，其特征在于：所述微型推杆(1103)关于盒体(1101)的中轴线对称分布，且盒体(1101)等距状分布于传输带(4)表面，而且盒体(1101)表面均匀开设有微孔。

8.根据权利要求6所述的一种硅片快速冷却装置，其特征在于：所述温度传感器(1104)的探头端位于保护网片(1102)内部，且保护网片(1102)表面呈微孔状结构。

9.根据权利要求6所述的一种硅片快速冷却装置，其特征在于：所述提示绿灯(1105)与提示红灯(1106)关于温度传感器(1104)的中轴线对称分布，且提示绿灯(1105)、提示红灯(1106)与盒体(1101)固定连接。

10.根据权利要求1-9任一项所述的一种硅片快速冷却装置的冷却方法，其特征在于：包括下述操作步骤：

步骤一：高温硅片置于盒体(1101)内部，此时微型推杆(1103)伸出将高温硅片抵住进行夹持，避免高温硅片松动脱落，通过电机驱动驱动轴(2)使得传输带(4)携带盒体(1101)移动至下一工序；

步骤二：盒体(1101)携带高温硅片移动过程中，冷却液沿第一冷却管(601)、第一换热器(603)内部循环流动，高温硅片的热量透过盒体(1101)表面的微孔散发被冷却液吸收，使得硅片降温，而冷却液沿第一冷却管(601)、第一换热器(603)内部循环流动，通过第一换热器(603)进行换热使得冷却液长时间作业；

步骤三：第一冷却管(601)位于轴承(3)表面的管槽(5)内部，通过轴承(3)使得第一冷却管(601)无需随驱动轴(2)进行传动；

步骤四：冷却液还于第二换热器(9)、第二冷却管(10)内部循环流动，通过电动伸缩杆(7)调节托盘(8)高度，从而调节第二冷却管(10)与硅片之间的间距，第二冷却管(10)配合第一冷却管(601)分别从上、下两个方向对硅片进行降温散热；

步骤五：硅片移动并降温过程中，温度传感器(1104)实时监测硅片温度，且温度传感器(1104)的探头端位于保护网片(1102)内部避免与高温硅片直接接触造成烫损，当温度传感器(1104)所监测的硅片温度下降至预设值时微型推杆(1103)缩回，再由传输带(4)携带盒体(1101)到达目的地，此时提示绿灯(1105)亮起提示工作人员取出降温后的硅片，而直至传输带(4)携带盒体(1101)到达目的地时温度传感器(1104)所监测的硅片温度仍处于预设值之上时，微型推杆(1103)保持抵住状态，同时提示红灯(1106)亮起提示工作人员不要拿取，再通过传输带(4)携带硅片再循环传动一轮进行降温散热，直至时温度传感器(1104)所监测的硅片温度降至预设值以下；

步骤六：冷却液沿第一冷却管(601)、第一换热器(603)内部循环流动，通过流量计(602)监测冷却液的流量，当第一冷却管(601)出现破损时流量计(602)所监测冷却液的流量值必然降低，此时流量计(602)通过警报装置向工作人员发出提示，由工作人员及时对各第一冷却管(601)进行检查；

步骤七：在对第一冷却管(601)进行检查时，若第一冷却管(601)出现破损泄露现象，则冷却液浸湿透气吸水棉(604)，使得透气吸水棉(604)颜色加深，以便工作人员快速查找到第一冷却管(601)的破损处，同时透气吸水棉(604)表面分段式设置有撕扯标线(605)，通过以撕扯标线(605)为中心于其两侧拉扯透气吸水棉(604)可快速将第一冷却管(601)的破损处露出，以便进行修补，修补后无需更换整个透气吸水棉(604)，只需取与扯下的那段透气吸水棉(604)相适配长度的新的透气吸水棉(604)重新对第一冷却管(601)进行包裹即可。