[发明专利]一种芯片测试用晶圆毛料调整装置在审
申请号: | 202210145112.0 | 申请日: | 2022-02-17 |
公开(公告)号: | CN114613715A | 公开(公告)日: | 2022-06-10 |
发明(设计)人: | 陈观强 | 申请(专利权)人: | 陈观强 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/66 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100020 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 测试 用晶圆 毛料 调整 装置 | ||
1.一种芯片测试用晶圆毛料调整装置,包括承载壳(1),其特征在于:所述承载壳(1)内底壁固定连接有固定块(2),固定块(2)内部阵列开设有若干个放置槽(3),放置槽(3)后端内部镶嵌有动力轮(4),动力轮(4)内部插接有动力轴(5),动力轴(5)右端贯通承载壳(1),动力轴(5)位于承载壳(1)外部部分固定连接有驱动齿轮(6),驱动齿轮(6)外表面套接有齿条(7),齿条(7)远离驱动齿轮(6)一端设置有电机(8),承载壳(1)后端位于动力轮(4)上方插接有接触板(9),接触板(9)后端底部位于承载壳(1)内部固定连接有压缩弹片(10),放置槽(3)内部位于动力轮(4)前端插接有限位块(11),限位块(11)内部转动连接有接触轮(12),限位块(11)远离接触轮(12)一端侧壁固定连接有复位弹簧(13);
所述限位块(11)前端侧壁接触有推动架(14),推动架(14)顶端插接有连接杆(15),连接杆(15)底端与推动架(14)顶端之间套接有挤压弹簧(16),承载壳(1)前端侧壁顶部转动连接有开合板(17),开合板(17)与承载壳(1)转动连接处底部固定连接有挡块(18),开合板(17)顶端固定连接有导向槽(19),开合板(17)顶端位于开合板(17)两侧固定连接有隔板(20),隔板(20)顶端固定连接有下压杆(21),下压杆(21)底部靠近隔板(20)一端固定连接有导向板(22),导向板(22)内壁远离下压杆(21)一端固定连接有海绵板(23)。
2.根据权利要求1所述的一种芯片测试用晶圆毛料调整装置,其特征在于:所述固定块(2)后端呈圆弧形状设置,放置槽(3)呈圆弧形状设置,动力轮(4)与放置槽(3)组成转动连接,动力轴(5)与固定块(2)组成转动连接。
3.根据权利要求1所述的一种芯片测试用晶圆毛料调整装置,其特征在于:所述动力轴(5)与承载壳(1)组成转动连接,动力轮(4)外表面开设有凹槽,电机(8)与承载壳(1)后侧壁固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种芯片测试用晶圆毛料调整装置,其特征在于:所述接触板(9)底端与承载壳(1)侧壁组成滑动连接,接触板(9)靠近承载壳(1)侧壁处设置有弹簧片,接触板(9)呈倾斜角度设置,接触板(9)远离压缩弹片(10)一端呈圆弧形状设置,承载壳(1)侧壁位于接触板(9)处开设的滑槽与下压杆(21)啮合。
5.根据权利要求1所述的一种芯片测试用晶圆毛料调整装置,其特征在于:所述放置槽(3)内壁开设有移动槽,限位块(11)侧壁设置有与移动槽啮合的卡块,限位块(11)与放置槽(3)组成滑动连接,复位弹簧(13)远离限位块(11)一端与承载壳(1)内壁固定连接,限位块(11)上表面呈圆弧形状设置。
6.根据权利要求1所述的一种芯片测试用晶圆毛料调整装置,其特征在于:所述推动架(14)与放置槽(3)组成滑动连接,连接杆(15)顶端与开合板(17)组成转动连接,连接杆(15)呈“7”字型设置,连接杆(15)底端通过插杆与推动架(14)组成滑动连接,挤压弹簧(16)套接在插杆外表面。
7.根据权利要求1所述的一种芯片测试用晶圆毛料调整装置,其特征在于:所述导向槽(19)内部转动连接有行走轮,隔板(20)之间距离与放置槽(3)尺寸一致,导向板(22)呈倾斜角度的设置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造