[发明专利]一种芯片测试用晶圆毛料调整装置在审

专利信息
申请号: 202210145112.0 申请日: 2022-02-17
公开(公告)号: CN114613715A 公开(公告)日: 2022-06-10
发明(设计)人: 陈观强 申请(专利权)人: 陈观强
主分类号: H01L21/68 分类号: H01L21/68;H01L21/66
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 100020 北京*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 测试 用晶圆 毛料 调整 装置
【权利要求书】:

1.一种芯片测试用晶圆毛料调整装置,包括承载壳(1),其特征在于:所述承载壳(1)内底壁固定连接有固定块(2),固定块(2)内部阵列开设有若干个放置槽(3),放置槽(3)后端内部镶嵌有动力轮(4),动力轮(4)内部插接有动力轴(5),动力轴(5)右端贯通承载壳(1),动力轴(5)位于承载壳(1)外部部分固定连接有驱动齿轮(6),驱动齿轮(6)外表面套接有齿条(7),齿条(7)远离驱动齿轮(6)一端设置有电机(8),承载壳(1)后端位于动力轮(4)上方插接有接触板(9),接触板(9)后端底部位于承载壳(1)内部固定连接有压缩弹片(10),放置槽(3)内部位于动力轮(4)前端插接有限位块(11),限位块(11)内部转动连接有接触轮(12),限位块(11)远离接触轮(12)一端侧壁固定连接有复位弹簧(13);

所述限位块(11)前端侧壁接触有推动架(14),推动架(14)顶端插接有连接杆(15),连接杆(15)底端与推动架(14)顶端之间套接有挤压弹簧(16),承载壳(1)前端侧壁顶部转动连接有开合板(17),开合板(17)与承载壳(1)转动连接处底部固定连接有挡块(18),开合板(17)顶端固定连接有导向槽(19),开合板(17)顶端位于开合板(17)两侧固定连接有隔板(20),隔板(20)顶端固定连接有下压杆(21),下压杆(21)底部靠近隔板(20)一端固定连接有导向板(22),导向板(22)内壁远离下压杆(21)一端固定连接有海绵板(23)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片测试用晶圆毛料调整装置,其特征在于:所述固定块(2)后端呈圆弧形状设置,放置槽(3)呈圆弧形状设置,动力轮(4)与放置槽(3)组成转动连接,动力轴(5)与固定块(2)组成转动连接。

3.根据权利要求1所述的一种芯片测试用晶圆毛料调整装置,其特征在于:所述动力轴(5)与承载壳(1)组成转动连接,动力轮(4)外表面开设有凹槽,电机(8)与承载壳(1)后侧壁固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种芯片测试用晶圆毛料调整装置,其特征在于:所述接触板(9)底端与承载壳(1)侧壁组成滑动连接,接触板(9)靠近承载壳(1)侧壁处设置有弹簧片,接触板(9)呈倾斜角度设置,接触板(9)远离压缩弹片(10)一端呈圆弧形状设置,承载壳(1)侧壁位于接触板(9)处开设的滑槽与下压杆(21)啮合。

5.根据权利要求1所述的一种芯片测试用晶圆毛料调整装置,其特征在于:所述放置槽(3)内壁开设有移动槽,限位块(11)侧壁设置有与移动槽啮合的卡块,限位块(11)与放置槽(3)组成滑动连接,复位弹簧(13)远离限位块(11)一端与承载壳(1)内壁固定连接,限位块(11)上表面呈圆弧形状设置。

6.根据权利要求1所述的一种芯片测试用晶圆毛料调整装置,其特征在于:所述推动架(14)与放置槽(3)组成滑动连接,连接杆(15)顶端与开合板(17)组成转动连接,连接杆(15)呈“7”字型设置,连接杆(15)底端通过插杆与推动架(14)组成滑动连接,挤压弹簧(16)套接在插杆外表面。

7.根据权利要求1所述的一种芯片测试用晶圆毛料调整装置,其特征在于:所述导向槽(19)内部转动连接有行走轮,隔板(20)之间距离与放置槽(3)尺寸一致,导向板(22)呈倾斜角度的设置。

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