[发明专利]一种半导体设备的温度控制方法及装置

权利要求书

1.一种半导体设备的温度控制方法，其特征在于，所述温度控制方法，包括：

获取风机的出风口温度和目标调节温度；

获取所述风机的出风口温度和所述目标调节温度的中间值，根据所述中间值调节一级热交换器的初始循环水温度，根据所述目标调节温度调节二级热交换器的初始循环水温度；

获取一级热交换器的出风口温度和二级热交换器的出风口温度；

将所述一级热交换器的出风口温度和所述二级热交换器的出风口温度与预置温度范围进行比对，根据比对结果调节一级热交换器的循环水温度和二级热交换器的循环水温度。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述预置温度范围包括：第一温度范围；

将所述一级热交换器的出风口温度与预置温度范围进行比对，根据比对结果调节一级热交换器循环水温度包括：

判断所述一级热交换器的出风口温度是否大于第一温度范围的最大值；

若所述一级热交换器的出风口温度大于第一温度范围的最大值，则将所述一级热交换器的出风口温度与第一温度范围的最大值作差，将差值作为第一温度调节值，将一级热交换器的循环水温度调低第一温度调节值；

若所述一级热交换器的出风口温度小于等于第一温度范围的最大值，则判断所述一级热交换器的出风口温度是否小于第一温度范围的最小值；

若所述一级热交换器的出风口温度小于第一温度范围的最小值，则将所述一级热交换器的出风口温度与第一温度范围的最小值作差，将差值作为第二温度调节值，将一级热交换器的循环水温度调高第二温度调节值。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述预置温度范围包括：第二温度范围；

将所述二级热交换器的出风口温度与预置温度范围进行比对，根据比对结果调节二级热交换器循环水温度，包括：

判断所述二级热交换器的出风口温度是否大于第二温度范围的最大值；

若所述二级热交换器的出风口温度大于第二温度范围的最大值，则将所述二级热交换器的出风口温度与第二温度范围的最大值作差，将差值作为第三温度调节值，将二级热交换器的循环水温度调低第三温度调节值；

若所述二级热交换器的出风口温度小于等于第二温度范围的最大值，则判断所述二级热交换器的出风口温度是否小于第二温度范围的最小值；

若所述二级热交换器的出风口温度小于第二温度范围的最小值，则将所述二级热交换器的出风口温度与第二温度范围的最小值作差，将差值作为第四温度调节值，将二级热交换器的循环水温度调高第四温度调节值。

4.根据权利要求2或3所述的方法，其特征在于，若所述一级热交换器的出风口温度大于第一温度范围的最大值之后，所述方法还包括：

调高所述一级热交换器的循环水流速；

若所述二级热交换器的出风口温度大于第二温度范围的最大值之后，所述方法还包括：

调高所述二级热交换器的循环水流速。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在获取一级热交换器的出风口温度和二级热交换器的出风口温度之后，所述方法还包括：

获取空气的热量调节总量、一级热交换器的入风口温度和循环水质量、二级热交换器的入风口温度和循环水质量；

根据一级热交换器的入风口温度、一级热交换器的出风口温度和循环水质量，计算一级热交换器调节的第一热量；

根据二级热交换器的入风口温度、二级热交换器的出风口温度和循环水质量，计算二级热交换器调节的第二热量；

计算第一热量和第二热量的和值，判断所述和值是否小于空气的热量调节总量；

若所述和值小于空气的热量调节总量，则计算空气的热量调节总量与所述和值的差值；

根据差值确定一级热交换器和/或二级热交换器的循环水温度。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述根据差值确定一级热交换器和/或二级热交换器的循环水温度，包括：

根据差值、一级热交换器的循环水质量、和/或、二级热交换器的循环水质量，通过热量计算公式计算一级热交换器和/或二级热交换器的调节温度。