[发明专利]一种垂直区熔炉及利用其制备铋化镁基热电晶体的制备方法有效
| 申请号: | 202210136462.0 | 申请日: | 2022-02-15 |
| 公开(公告)号: | CN114481290B | 公开(公告)日: | 2023-05-23 |
| 发明(设计)人: | 何佳清;胡明远;王江舵 | 申请(专利权)人: | 深圳热电新能源科技有限公司 |
| 主分类号: | C30B13/00 | 分类号: | C30B13/00;C30B13/14;C30B29/52 |
| 代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 潘登 |
| 地址: | 518000 广东省深圳市龙岗区吉华街道甘李*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 垂直 熔炉 利用 制备 铋化镁基 热电 晶体 方法 | ||
1.一种铋化镁基热电晶体的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括如下步骤:
(1)将Mg原料和Bi原料装入坩埚,进行熔炼,直至坩埚内无固体;
(2)将坩埚底部移动至加热模块Ⅱ的中心,进行加热;所述加热时,加热模块Ⅰ的温度为400-550℃;加热模块Ⅱ的温度为850-950℃;加热模块Ⅲ的温度为350-550℃;
(3)将坩埚下降,直至坩埚中熔体全部通过加热模块Ⅱ,得到铋化镁基热电晶体;
所述制备方法在垂直区熔炉中通过垂直区熔法进行,所述垂直区熔炉自上而下依次包括加热模块Ⅰ、隔断层Ⅰ、加热模块Ⅱ、隔断层Ⅱ和加热模块Ⅲ;所述垂直区熔炉中使用的坩埚包括双镀碳石英管或氮化硼坩埚-石英管联用;
所述双镀碳石英管的制备方法为:先采用丙酮热解工艺将两个不同尺寸的石英管分别镀碳3~5次,再将小号石英管装进大号石英管内进行真空封管,得到所述双镀碳石英管;
所述氮化硼坩埚-石英管的制备方法为:将氮化硼坩埚放进石英管内,并在氮化硼坩埚和石英管之间填充石英砂。
2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述加热模块Ⅱ的厚度为30-50mm。
3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述坩埚为氮化硼坩埚-石英管联用时,氮化硼坩埚和石英管之间填充石英砂。
4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)所述Mg原料的摩尔占比为50-55%。
5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)还包括:将Sb原料装入坩埚。
6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)所述熔炼的温度为850-1050℃。
7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)所述熔炼时,加热模块Ⅰ、加热模块Ⅱ和加热模块Ⅲ的温度相等。
8.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)所述熔炼时,所述坩埚的旋转速率为8-15rpm。
9.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述制备方法还包括:在步骤(1)所述熔炼结束后,步骤(2)之前,进行第一次冷却。
10.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于,所述第一次冷却的降温速率为25-40℃/h。
11.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于,所述第一次冷却的终点温度为20-50℃。
12.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(2)所述加热的时间为12-24h。
13.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(2)所述加热时,隔断层Ⅱ的两侧的温度梯度≥60℃/cm。
14.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(3)所述下降的速度为0.8-1mm/h。
15.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述制备方法还包括:在步骤(3)所述坩埚中熔体全部通过加热模块Ⅱ后,进行第二次冷却。
16.根据权利要求15所述的制备方法,其特征在于,所述第二次冷却的降温速率为20-40℃/h。
17.根据权利要求15所述的制备方法,其特征在于,所述第二次冷却的终点温度为20-50℃。
18.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,采用垂直区熔炉通过垂直区熔法进行制备,所述垂直区熔炉自上而下依次包括加热模块Ⅰ、隔断层Ⅰ、加热模块Ⅱ、隔断层Ⅱ和加热模块Ⅲ;所述垂直区熔炉中使用的坩埚包括双镀碳石英管或氮化硼坩埚-石英管联用;所述加热模块Ⅱ的厚度为30-50mm;所述制备方法包括如下步骤:
(1)将Mg原料、Bi原料和Sb原料装入坩埚,控制坩埚的旋转速率为8-15rpm,加热模块Ⅰ、加热模块Ⅱ和加热模块Ⅲ的温度均在850-1050℃进行熔炼,直至坩埚内无固体后,以25-40℃/min的降温速率进行第一次冷却至终点温度为20-50℃;
其中,Mg原料的摩尔占比为50-55%;Bi原料和Sb原料的摩尔占比之和为45-50%;
(2)将坩埚底部移动至加热模块Ⅱ的中心,控制加热模块Ⅰ的温度为400-550℃,加热模块Ⅱ的温度为850-950℃,加热模块Ⅲ的温度为350-550℃进行加热12-24h,以保持隔断层Ⅱ的两侧的温度梯度≥60℃/cm;
(3)以0.8-1mm/h的速度将坩埚下降,直至坩埚中熔体全部通过加热模块Ⅱ,以20-40℃/h的降温速率进行第二次冷却至终点温度为20-50℃,得到铋化镁基热电晶体。
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