[发明专利]一种垂直区熔炉及利用其制备铋化镁基热电晶体的制备方法有效

专利信息
申请号: 202210136462.0 申请日: 2022-02-15
公开(公告)号: CN114481290B 公开(公告)日: 2023-05-23
发明(设计)人: 何佳清;胡明远;王江舵 申请(专利权)人: 深圳热电新能源科技有限公司
主分类号: C30B13/00 分类号: C30B13/00;C30B13/14;C30B29/52
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 潘登
地址: 518000 广东省深圳市龙岗区吉华街道甘李*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 垂直 熔炉 利用 制备 铋化镁基 热电 晶体 方法
【权利要求书】:

1.一种铋化镁基热电晶体的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括如下步骤:

(1)将Mg原料和Bi原料装入坩埚,进行熔炼,直至坩埚内无固体;

(2)将坩埚底部移动至加热模块Ⅱ的中心,进行加热;所述加热时,加热模块Ⅰ的温度为400-550℃;加热模块Ⅱ的温度为850-950℃;加热模块Ⅲ的温度为350-550℃;

(3)将坩埚下降,直至坩埚中熔体全部通过加热模块Ⅱ,得到铋化镁基热电晶体;

所述制备方法在垂直区熔炉中通过垂直区熔法进行,所述垂直区熔炉自上而下依次包括加热模块Ⅰ、隔断层Ⅰ、加热模块Ⅱ、隔断层Ⅱ和加热模块Ⅲ;所述垂直区熔炉中使用的坩埚包括双镀碳石英管或氮化硼坩埚-石英管联用;

所述双镀碳石英管的制备方法为:先采用丙酮热解工艺将两个不同尺寸的石英管分别镀碳3~5次,再将小号石英管装进大号石英管内进行真空封管,得到所述双镀碳石英管;

所述氮化硼坩埚-石英管的制备方法为:将氮化硼坩埚放进石英管内,并在氮化硼坩埚和石英管之间填充石英砂。

2.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述加热模块Ⅱ的厚度为30-50mm。

3.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述坩埚为氮化硼坩埚-石英管联用时,氮化硼坩埚和石英管之间填充石英砂。

4.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)所述Mg原料的摩尔占比为50-55%。

5.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)还包括:将Sb原料装入坩埚。

6.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)所述熔炼的温度为850-1050℃。

7.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)所述熔炼时,加热模块Ⅰ、加热模块Ⅱ和加热模块Ⅲ的温度相等。

8.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(1)所述熔炼时,所述坩埚的旋转速率为8-15rpm。

9.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述制备方法还包括:在步骤(1)所述熔炼结束后,步骤(2)之前,进行第一次冷却。

10.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于,所述第一次冷却的降温速率为25-40℃/h。

11.根据权利要求9所述的制备方法,其特征在于,所述第一次冷却的终点温度为20-50℃。

12.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(2)所述加热的时间为12-24h。

13.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(2)所述加热时,隔断层Ⅱ的两侧的温度梯度≥60℃/cm。

14.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,步骤(3)所述下降的速度为0.8-1mm/h。

15.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,所述制备方法还包括:在步骤(3)所述坩埚中熔体全部通过加热模块Ⅱ后,进行第二次冷却。

16.根据权利要求15所述的制备方法,其特征在于,所述第二次冷却的降温速率为20-40℃/h。

17.根据权利要求15所述的制备方法,其特征在于,所述第二次冷却的终点温度为20-50℃。

18.根据权利要求1所述的制备方法,其特征在于,采用垂直区熔炉通过垂直区熔法进行制备,所述垂直区熔炉自上而下依次包括加热模块Ⅰ、隔断层Ⅰ、加热模块Ⅱ、隔断层Ⅱ和加热模块Ⅲ;所述垂直区熔炉中使用的坩埚包括双镀碳石英管或氮化硼坩埚-石英管联用;所述加热模块Ⅱ的厚度为30-50mm;所述制备方法包括如下步骤:

(1)将Mg原料、Bi原料和Sb原料装入坩埚,控制坩埚的旋转速率为8-15rpm,加热模块Ⅰ、加热模块Ⅱ和加热模块Ⅲ的温度均在850-1050℃进行熔炼,直至坩埚内无固体后,以25-40℃/min的降温速率进行第一次冷却至终点温度为20-50℃;

其中,Mg原料的摩尔占比为50-55%;Bi原料和Sb原料的摩尔占比之和为45-50%;

(2)将坩埚底部移动至加热模块Ⅱ的中心,控制加热模块Ⅰ的温度为400-550℃,加热模块Ⅱ的温度为850-950℃,加热模块Ⅲ的温度为350-550℃进行加热12-24h,以保持隔断层Ⅱ的两侧的温度梯度≥60℃/cm;

(3)以0.8-1mm/h的速度将坩埚下降,直至坩埚中熔体全部通过加热模块Ⅱ,以20-40℃/h的降温速率进行第二次冷却至终点温度为20-50℃,得到铋化镁基热电晶体。

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