[发明专利]一种半导体的封装方法有效
申请号: | 202210126914.7 | 申请日: | 2022-02-11 |
公开(公告)号: | CN114171395B | 公开(公告)日: | 2022-05-24 |
发明(设计)人: | 邵冬冬 | 申请(专利权)人: | 深圳中科四合科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L23/488 |
代理公司: | 深圳倚智知识产权代理事务所(普通合伙) 44632 | 代理人: | 霍如肖 |
地址: | 518000 广东省深圳市龙华区观*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 封装 方法 | ||
1.一种半导体的封装方法,其特征在于,包括:
步骤A. 在引线框架(1)上贴装芯片(2),在芯片(2)的上表面AL焊盘(21)上采用引线键合工艺制作打线端头结构(3);打线端头结构(3)包括从下到上紧密连接的打线焊盘接触球(31)、过渡连接台(32)和线头(33);
步骤B. 对完成打线端头结构(3)制作的引线框架(1)进行第一次塑封或者压合包封,实现芯片(2)及打线端头结构(3)全包裹,且包裹层(4)的顶面高度超过打线端头结构(3)的顶面20~50μm;
步骤C. 对包裹层(4)进行减薄,将打线焊盘接触球(31)露出,去掉过渡连接台(32)和线头(33);
所述引线键合工艺所使用的导线为变径型导线,所述变径型导线包括N个以上彼此相连的结球单元(6),每个结球单元包括线头部(61)、变径部(62)和接头部(63),所述线头部(61)和接头部(63)的直径等于导线的直径,所述变径部(62)中间大两头小,所述变径部(62)的最大直径处是所述导线的直径的2~4倍,N为自然数。
2.如权利要求1所述半导体的封装方法,其特征在于,所述引线键合工艺所使用的导线为金线或铜线,定义导线的直径为d,打线焊盘接触球(31)的直径为D,D≥3d。
3.如权利要求1所述半导体的封装方法,其特征在于,所述引线键合工艺用到的键合针头的数量为2个以上,2个以上的键合针各自牵引导线同时键合,2个以上的打线端头结构(3)彼此共晶融合形成大打线端头结构(30)。
4.如权利要求1所述半导体的封装方法,其特征在于,所述AL焊盘(21)的数量在1个以上,每个AL焊盘(21)上设置有1个以上的打线端头结构(3),1个以上的打线端头结构(3)的打线焊盘接触球(31)完全覆盖所述AL焊盘(21)的表面,相邻的打线焊盘接触球(31)在邻接处共晶融合。
5.如权利要求3或4任一项所述半导体的封装方法,其特征在于,所述引线键合工艺所使用的导线为锌包铜导线,锌层的厚度为导线厚度的10%~60%。
6.如权利要求1所述半导体的封装方法,其特征在于,还包括:
步骤D. 对减薄后的包裹层(4)进行二次塑封或二次压合包封,二次包裹层(5)的厚度为35~50μm;
步骤E. 制作打线焊盘接触球(31)上的芯片盲孔(51)和电路互联孔(52);
步骤F. 对已成型的芯片盲孔(51)和电路互联孔(52)进行电镀和图形电路加工,实现产品电性互联。
7.如权利要求1所述半导体的封装方法,其特征在于,还包括:
步骤C1. 对减薄后露出打线焊盘接触球(31)的产品表面进行金属化加工,可采用化镀、溅射或蒸镀的方法,制作覆盖打线焊盘接触球(31)的大焊盘(311),所述大焊盘(311)的厚度为15~25μm,大焊盘(311)的周边比打线焊盘接触球(31)的周边大3μm以上;
步骤D. 对制作大焊盘(311)的包裹层(4)进行二次塑封或二次压合包封,二次包裹层(5)的厚度为35~50μm;
步骤E. 制作大焊盘(311)上的芯片盲孔(51)和电路互联孔(52);
步骤F. 对已成型的芯片盲孔(51)和电路互联孔(52)进行电镀和图形电路加工,实现产品电性互联。
8.如权利要求1所述半导体的封装方法,其特征在于,所述步骤A中,所述引线框架(1)上设置有厚度调节凸台(11),所述厚度调节凸台(11)的厚度为所述芯片(2)和打线焊盘接触球(31)的厚度和的95%~105%。
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