[发明专利]电源系统和电源系统的控制方法

说明书

本申请实施例公开了一种电源系统和电源系统的控制方法，电源系统包括电源、采样控制模块和电弧信号生成模块，采样控制模块连接电弧信号生成模块和电源。这里，电弧信号生成模块用于生成电弧模拟信号，并向电源输出该电弧模拟信号。采样控制模块用于在电弧模拟信号输入电源之后，检测电源的输出，并基于电源的输出检测电源是否具有电弧防护性能。采用本申请，可提高电源的电弧防护性能的测试便捷性，提高了电弧防护性能测试效率，提高电源的稳定性和安全性，适用性更强。

技术领域

本申请实施例涉及领域电子电力技术领域，尤其涉及一种电源系统和电源系统的控制方法。

背景技术

射频电源是一种可以产生固定频率(频率通常在特定射频范围(比如300kHz到30GHz))的正弦波电压、且具有一定输出功率的电源。射频电源应用广泛，应用范围包括广播及电视传输、有线电视、无线通讯及工业等。除此之外，射频电源还广泛应用于半导体和光伏制造设备中，射频电源是半导体和光伏制造设备的核心构成，适用于半导体、光伏制造设备中等离子镀膜的供电。然而，等离子镀膜过程中容易产生等离子电弧，等离子电弧的产生会降低镀膜产品质量，使得镀膜产品的不良率升高，甚至损坏射频电源。因此，在射频电源为等离子镀膜供电的过程中，射频电源是否具有等离子电弧的检测和/或防护功能至关重要。

发明内容

本申请实施例提供了一种电源系统和电源系统的控制方法，可提高电源的电弧防护性能的测试便捷性，提高了电弧防护性能测试效率，提高电源的稳定性和安全性，适用性更强。

第一方面，本申请实施例提供一种电源系统，该电源系统包括电源、采样控制模块和电弧信号生成模块；上述采样控制模块连接上述电弧信号生成模块和上述电源；上述电弧信号生成模块包括信号发生器、第一信号处理单元、第二信号处理单元以及信号合并单元；

上述信号发生器用于生成上述电源的工作电流模拟信号，并向上述第一信号处理单元和上述第二信号处理单元输出上述工作电流模拟信号；

上述第一信号处理单元用于生成上述工作电流模拟信号的移相信号，并向上述信号合并单元输出上述移相信号；

上述第二信号处理单元用于基于上述工作电流模拟信号生成脉冲信号，并向上述信号合并单元输出上述脉冲信号，上述脉冲信号与上述工作电流模拟信号的第一相位差与上述移相信号与上述工作电流模拟信号之间的第二相位差相同；

上述信号合并单元用于基于上述移相信号和上述脉冲信号生成并向上述电源输出上述电弧模拟信号，上述电弧模拟信号的电流峰值大于或等于电流阈值；

上述采样控制模块用于在上述电弧模拟信号输入上述电源之后，检测上述电源的输出，并基于上述电源的输出检测上述电源是否具有电弧防护性能。

在一种可能的实现方式中，上述第一信号处理单元包括移相器；上述第二信号处理单元包括反相器、积分电路和微分电路，上述信号合并单元包括加法器，其中，上述反相器的一端作为上述第二信号处理单元的输入端连接上述信号发生器，上述反相器的输出端通过上述积分电路连接上述微分电路的输入端，上述微分电路的输出端作为上述第二信号处理单元的输出端连接上述信号合并单元的加法器。

在一种可能的实现方式中，上述采样控制模块用于在上述电弧模拟信号输入上述电源之后，检测到上述电源的输出电压和/或输出电流，并在上述输出电压小于工作电压阈值和/或上述输出电流小于工作电流阈值时，输出上述电源具有电弧防护性能的指示信号。

在一种可能的实现方式中，上述电源包括输出电流采样模块、电源保护控制模块和电源工作模块；上述输出电流采样模块的一端作为上述电源的一端连接上述电弧信号生成模块，上述输出电流采样模块的另一端通过上述电源保护控制模块连接上述电源工作模块的一端，上述电源工作模块的另一端连接上述采样控制模块；

上述输出电流采样模块用于在检测到上述电弧信号生成模块输入的上述电弧模拟信号时，向上述电源保护控制模块输出上述电弧模拟信号的电流值；