[发明专利]直线运动台在审
| 申请号： | 202210117889.6 | 申请日： | 2022-02-08 |
| 公开（公告）号： | CN114496878A | 公开（公告）日： | 2022-05-13 |
| 发明（设计）人： | 李伟民;罗岩;谢扬;陆海亮 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃苏科思科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L21/66 |
| 代理公司： | 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) 32276 | 代理人： | 吕正刚 |
| 地址： | 215133 江苏省苏州市相城*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 直线运动 | ||
【权利要求书】：
1.一种直线运动台，其特征在于，包括线性促动器、环状外圈、环状内圈、板簧，所述环状外圈与所述环状内圈同轴设置且所述环状外圈与所述环状内圈之间固定连接有所述板簧，所述线性促动器设置于所述环状内圈的内侧并与基台固定连接，所述环状外圈与所述环状内圈中的一个与基台固定连接，另一个则与负载台面相连，所述线性促动器的运动轴与所述负载台面相连。
2.根据权利要求1所述的直线运动台，其特征在于，所述环状外圈的顶部与所述负载台面的底部固定连接，所述环状内圈的底部与基台表面固定连接。
3.根据权利要求1所述的直线运动台，其特征在于，所述线性促动器的运动轴通过柔性铰链与所述负载台面相连。
4.根据权利要求1所述的直线运动台，其特征在于，所述柔性铰链为双环状的结构，内环与所述线性促动器的运动轴固定连接，外环与所述负载台面固定连接。
5.根据权利要求1所述的直线运动台，其特征在于，所述环状外圈与所述环状内圈之间设置有两层板簧，所述两层板簧沿径向设置。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的直线运动台，其特征在于，所述线性促动器与所述环状内圈固定连接。
7.根据权利要求1所述的直线运动台，其特征在于，所述基台为固定台面或者旋转运动台的旋转台面。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
