[发明专利]切割线的制备方法及切割线在审
| 申请号： | 202210102939.3 | 申请日： | 2022-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN114606465A | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 徐龙;陈冲;蔡辉硕;陈晓 | 申请（专利权）人： | 深圳富联智能制造产业创新中心有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/18 | 分类号： | C23C14/18;C23C16/02;C23C16/27;C23C28/00;B24B27/06;B28D5/04 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 饶智彬 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 切割 制备 方法 | ||
1.一种切割线的制备方法，其特征在于，所述切割线的制备方法包括：
提供一碳纤维基体；
采用物理气相沉积在所述碳纤维基体上沉积硅-钛衬底层，所述硅-钛衬底层中硅的质量分数为5％-50％；
采用化学气相沉积在所述硅-钛衬底层上沉积金刚石层，得到切割线，所述金刚石层中每平方毫米含有200-2000颗金刚石颗粒。
2.如权利要求1所述的切割线的制备方法，其特征在于，在沉积所述金刚石层前，所述切割线的制备方法还包括：
将表面沉积有所述硅-钛衬底层的所述碳纤维基体放置于真空中，在惰性气体条件下进行热处理，所述热处理的温度为600-1200℃，所述热处理的时间为1-3h。
3.如权利要求1所述的切割线的制备方法，其特征在于，在沉积所述硅-钛衬底层前，所述切割线的制备方法还包括：
将所述碳纤维基体放置于真空中，在惰性气体条件下进行预处理，所述预处理的温度为600-1200℃，所述预处理的时间为1-3h。
4.如权利要求1所述的切割线的制备方法，其特征在于，所述化学气相沉积以甲烷和氢气作为气源，甲烷的体积比为1％-10％，氢气的体积占比为90％-99％，所述化学气相沉积的温度为600℃-1000℃，压力为100-300torr，沉积时间为4-10h。
5.如权利要求1所述的切割线的制备方法，其特征在于，所述物理气相沉积以硅钛合金作为靶源，沉积时间为5-10h，沉积温度450-750℃。
6.一种切割线，其特征在于，所述切割线包括碳纤维基体、设于所述碳纤维基体上的硅-钛衬底层以及设于所述硅-钛衬底层上的金刚石层，所述硅-钛衬底层中至少部分硅原子或钛原子通过化学键键接于所述碳纤维基体，所述硅-钛衬底层中硅占有质量分数为5％-50％，所述金刚石层中每平方毫米含有200-2000颗金刚石颗粒。
7.如权利要求6所述的切割线，其特征在于，所述碳纤维基体包括多个单根碳纤维，多个所述单根碳纤维编织成束。
8.如权利要求7所述的切割线，其特征在于，当所述碳纤维基体为所述单根碳纤维时，所述切割线的直径为10-20μm。
9.如权利要求6所述的切割线，其特征在于，所述硅-钛衬底层的厚度为1-10μm。
10.如权利要求6所述的切割线，其特征在于，所述金刚石层中金刚石的粒径为5-30μm。
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