[发明专利]一种低减重单晶硅片制绒添加剂、制备方法及其用途

权利要求书

1.一种低减重单晶硅片制绒添加剂，其特征在于，按重量百分比包括如下组分：糖类0.1%-10%、醇类0.001%-1%、缓蚀剂0.001%-1%，分散剂0.05%-5%、无机盐0.01%-1%、表面活性剂0.001%-0.5%、碱0.01%-1%，余量为水。

2.根据权利要求1所述的低减重单晶硅片制绒添加剂，其特征在于，所述糖类是环糊精、羧甲基淀粉钠、羟丙基淀粉钠、葡聚糖、明胶中的一种或几种混合；

所述醇类是聚乙二醇200-1000，聚丙二醇200-1000中的一种或几种混合。

3.根据权利要求1所述的低减重单晶硅片制绒添加剂，其特征在于，所述缓蚀剂是聚乙烯醇、聚丙烯酸钠、腐植酸钠、聚丙烯酰胺中的一种或几种混合。

4.根据权利要求1所述的低减重单晶硅片制绒添加剂，其特征在于，所述分散剂是木质素磺酸钠、柠檬酸钠、酒石酸钠、硅酸钠、焦磷酸钠、葡萄糖酸钠、羟基乙叉二磷酸四钠、乙二胺四亚甲基膦酸钠中的一种或几种混合。

5.根据权利要求1所述的低减重单晶硅片制绒添加剂，其特征在于，所述无机盐是氯化钠、硫酸钠、碳酸钠、碳酸氢钠中的一种或几种混合。

6.根据权利要求1所述的低减重单晶硅片制绒添加剂，其特征在于，所述表面活性剂是十二烷基苯磺酸钠、十二烷基硫酸钠、十二烷基磷酸钠中的一种或几种混合。

7.根据权利要求1所述的低减重单晶硅片制绒添加剂，其特征在于，所述碱是氢氧化钠、氢氧化钾的一种或两种混合。

8.一种低减重单晶硅片制绒添加剂的制备方法，其特征在于，按重量百分比将糖类、醇类、缓蚀剂、分散剂、无机盐、表面活性剂和碱加入去离子水中，混合均匀配制成制绒添加剂溶液；其中，各组分的重量百分比如下：

糖类 0.1%-10%；

醇类 0.001%-1%；

缓冲剂 0.001%-1%；

分散剂 0.05%-5%；

无机盐 0.01%-1%；

表面活性剂 0.001%-0.5%；

碱 0.01-1%；

去离子水 定量至100g。

9.一种低减重单晶硅片制绒添加剂的用途，其特征在于，用于在单晶硅表面制绒。

10.根据权利要求9所述的低减重单晶硅片制绒添加剂的用途，其特征在于，在单晶硅表面制绒包括如下步骤：

S1、制绒添加剂配制：按重量百分比将糖类、醇类、缓蚀剂、分散剂、无机盐、表面活性剂和碱加入去离子水中，混合均匀配制成制绒添加剂溶液；

S2、制绒液配制：将3-6g制绒添加剂加入到1L的0.2-2%KOH溶液中，得到制绒液；

S3、制绒：将切割后的单晶硅片清洗后浸入制绒液中，制绒时间150-800s，制绒温度70-85℃。