[发明专利]一种磷化铟材料的抛光工艺优化方法、系统及介质

权利要求书

1.一种磷化铟材料的抛光工艺优化方法，其特征在于，包括以下步骤：

采集磷化铟材料在抛光工艺过程中的实时加工情况；

建立抛光评估模型，获取磷化铟材料的加工图纸参数，并将所述磷化铟材料的加工图纸参数导入所述抛光评估模型中训练，得到训练好的抛光评估模型；

将所述磷化铟材料在抛光工艺过程中的实时加工情况导入到所述训练好的抛光评估模型中，得到评估概率值；

基于所述评估概率值调整抛光压头的加工参数。

2.根据权利要求1所述的一种磷化铟材料的抛光工艺优化方法，其特征在于，将所述磷化铟材料在抛光工艺过程中的实时加工情况导入到所述训练好的抛光评估模型中，得到评估概率值，具体包括以下步骤：

获取抛光压头与磷化铟材料接触面的图像信息；

基于所述图像信息建立抛光压头的实时模型图，并将所述抛光压头的实时模型图导入所述训练好的抛光评估模型中，计算出抛光压头的锥度；

通过大数据网络获取磷化铟材料的材料特性；所述材料特性包括磷化铟材料的硬度以及弹性模量；

基于所述抛光压头的锥度与所述磷化铟材料的材料特性计算出评估概率值。

3.根据权利要求2所述的一种磷化铟材料的抛光工艺优化方法，其特征在于，基于所述抛光压头的锥度与所述磷化铟材料的材料特性计算出评估概率值，具体包括以下步骤：

通过大数据网络获取抛光压头的材料特性；所述抛光压头的材料特性包括抛光压头的硬度以及弹性模量；

根据所述抛光压头的锥度以及抛光压头的材料特性得到当前抛光压头与磷化铟材料之间接触时产生的加载力；

将所述加载力与预设加载力对比，得到评估概率值；所述加载力为抛光压头与磷化铟材料接触时产生的压力值。

4.根据权利要求1所述的一种磷化铟材料的抛光工艺优化方法，其特征在于，基于所述评估概率值调整抛光压头的加工参数，具体包括以下步骤：

判断所述评估概率值是否大于预设评估概率值；

若大于，则调整当前抛光压头的加工参数；所述加工参数包括抛光压头的转速以及抛光压头的进给速度。

5.根据权利要求1所述的一种磷化铟材料的抛光工艺优化方法，其特征在于，还包括以下步骤：

获取调整后抛光压头的加工参数；

基于所述调整后抛光压头的加工参数得到预设时间内的材料去除率；

判断所述材料去除率是否在预设材料去除率范围之内；

若不在，则发出更换抛光压头的控制指令。

6.根据权利要求2所述的一种磷化铟材料的抛光工艺优化方法，其特征在于，基于所述图像信息建立抛光压头的实时模型图，并将所述抛光压头的实时模型图导入所述训练好的抛光评估模型中，计算出抛光压头的锥度，具体包括以下步骤：

基于所述图像信息建立抛光压头的实时模型图；

基于所述抛光压头的实时模型图以及磷化铟材料的材料特性得到抛光压头的磨损量；

根据所述抛光压头的磨损量建立磨损模型图，并基于所述抛光压头的实时模型图以及磨损模型图得到最终的抛光压头实时模型图；

将所述终的抛光压头实时模型图导入所述训练好的抛光评估模型中，得到抛光压头的锥度。

7.一种磷化铟材料的抛光工艺优化系统，该系统包括存储器及处理器，所述存储器中包括磷化铟材料的抛光工艺优化方法程序，所述磷化铟材料的抛光工艺优化方法程序被执行时，实现如下步骤：

采集磷化铟材料在抛光工艺过程中的实时加工情况；

建立抛光评估模型，获取磷化铟材料的加工图纸参数，并将所述磷化铟材料的加工图纸参数导入所述抛光评估模型中训练，得到训练好的抛光评估模型；

将所述磷化铟材料在抛光工艺过程中的实时加工情况导入到所述训练好的抛光评估模型中，得到评估概率值；所述评估概率值为抛光压头的几何形状能否使磷化铟材料产生裂纹的概率值；

基于所述评估概率值调整抛光压头的加工参数。