[发明专利]一种采用佩林布洛卡棱镜分光的紫外激光器装置及方法

权利要求书

1.一种采用佩林布洛卡棱镜分光的紫外激光器装置，其特征在于，包括：

基频激光器，用于输出红外激光；

第一晶体，所述红外激光入射所述第一晶体，经该第一晶体转化后，形成第一合频体激光，所述第一合频体激光包括绿光激光和剩余的第一残余红外激光；

第二晶体，所述第一合频体激光入射所述第二晶体，经该第二晶体转化后，形成第二合频体激光，所述第二合频体激光包括紫光激光、残余绿光激光和第二残余红外激光；

无需镀膜的佩林布洛卡棱镜，所述第二合频体激光以布儒斯特角入射所述佩林布洛卡棱镜的第一直角面进行分光，入射的所述紫光激光经折射、全反射后依然按布儒斯特角出射，形成出射的所述紫光激光，入射的所述紫光激光的方向与出射的所述紫光激光的方向之间的夹角为90°，所述残余绿光激光和第二残余红外激光以不同的角度出射，并均由废光吸收座收集。

2.如权利要求1所述的采用佩林布洛卡棱镜分光的紫外激光器装置，其特征在于，所述第一晶体为二倍频晶体，所述第二晶体为三倍频晶体或四倍频晶体。

3.如权利要求2所述的采用佩林布洛卡棱镜分光的紫外激光器装置，其特征在于，还包括用于光斑扩束，缩束，聚焦或整形的光束变换组件。

4.如权利要求3所述的采用佩林布洛卡棱镜分光的紫外激光器装置，其特征在于，所述光束变换组件位于所述红外激光器与所述二倍频晶体之间和/或所述二倍频晶体与所述三倍频晶体或四倍频晶体之间。

5.如权利要求2所述的采用佩林布洛卡棱镜分光的紫外激光器装置，其特征在于，所述二倍频晶体的入射面、出射面均镀有相应波长的增透膜，所述二倍频晶体为LBO晶体、BBO晶体、CLBO晶体、KTP晶体或BIBO晶体。

6.如权利要求2所述的采用佩林布洛卡棱镜分光的紫外激光器装置，其特征在于，

所述第二晶体的入射面镀有相应波长的增透膜，所述第二晶体为LBO晶体、BBO晶体、CLBO晶体或KBBF晶体。

7.如权利要求1所述的采用佩林布洛卡棱镜分光的紫外激光器装置，其特征在于，所述佩林布洛卡棱镜的材料为紫外熔石英或CaF₂。

8.如权利要求1所述的采用佩林布洛卡棱镜分光的紫外激光器装置，其特征在于，出射的所述紫光激光的脉冲宽度输出为纳秒，皮秒或飞秒。

9.如权利要求1-8任一所述的采用佩林布洛卡棱镜分光的紫外激光器装置，其特征在于，所述基频激光器为全固体红外激光器、全光纤红外激光器或者光纤、固体混合结构的红外激光器。

10.利用权利要求1所述的紫外激光器装置实现输出紫光激光的方法，其特征在于，基频激光器输出红外激光，该红外激光经过第一晶体转化后，形成第一合频体激光，所述第一合频体激光包括部分红外激光转化的绿光激光和剩余的第一残余红外激光；

所述第一合频体激光经过第二晶体转化后，形成包括转化的紫光激光、残余绿光激光和第二残余红外激光的第二合频体激光，所述第二合频体激光以布儒斯特角入射无需镀膜的佩林布洛卡棱镜的第一直角面进行分光，入射的所述紫光激光经折射、全反射后依然按布儒斯特角出射，形成出射的所述紫光激光，入射的所述紫光激光的方向与出射的所述紫光激光的方向的夹角为90°，所述残余绿光激光和第二残余红外激光以不同的角度出射，并均由废光吸收座收集。