[发明专利]一种表面负载银纳米颗粒的SERS基底的制备方法有效
| 申请号： | 202210084593.9 | 申请日： | 2022-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN114507846B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 王思羽;张鑫;栾振东 | 申请（专利权）人： | 中国科学院海洋研究所 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/18;C23C14/54;C23C14/58;B22F1/054;G01N21/01;G01N21/65;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 青岛华慧泽专利代理事务所(普通合伙) 37247 | 代理人： | 姜英昌 |
| 地址： | 266071 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 表面 负载 纳米 颗粒 sers 基底 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种表面负载银纳米颗粒的SERS基底的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：
步骤1：镀银膜石英基底的制备；
步骤2：将步骤1制备的镀银膜石英基底放置于马弗炉中，加热温度保持为420-425℃，升温速率控制在5-10℃/min，加热时间控制在5-30min；
步骤3：将步骤2得到的镀银膜石英衬底置于空气中自然冷却，即得到负载银纳米颗粒的SERS基底；
所述步骤1的具体制备方法为：将干净的石英衬底在丙酮、乙醇、超纯水中分别清洗2-4次，在石英衬底上沉积Ag膜，并采用厚度检测器对Ag膜厚度进行检测，最终控制Ag膜厚度为10-800nm；
所述步骤3中得到的负载银纳米颗粒之间间隙在5-20nm之间。
2.根据权利要求1所述的一种表面负载银纳米颗粒的SERS基底的制备方法，其特征在于，所述步骤1中采用电子束沉积 (EBD FU-12PEB)沉积Ag膜。
3.根据权利要求2所述的一种表面负载银纳米颗粒的SERS基底的制备方法，其特征在于，所述步骤1中采用电子束沉积法沉积Ag膜时的速率为1-10A/s。
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