[发明专利]全息式显微镜及其使用方法在审
| 申请号: | 202210084160.3 | 申请日: | 2022-01-25 |
| 公开(公告)号: | CN116007490A | 公开(公告)日: | 2023-04-25 |
| 发明(设计)人: | 张玮刚 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号: | G01B9/04 | 分类号: | G01B9/04;G01B11/06;G01B11/22;G01N21/45;G02B21/06;G03H1/00;G03H1/12 |
| 代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 张博 |
| 地址: | 中国台湾新竹*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 全息 显微镜 及其 使用方法 | ||
本公开提供一种全息式显微镜,用于观察待测样品。全息式显微镜包括光源、分光组件、偏光组件、相位调制组件、合光组件以及感光组件。光源用于提供照明光束。照明光束传递通过分光组件以形成第一光束以及第二光束,且待测样品配置于第一光束的传递路径上。偏光组件配置于第一光束或第二光束的传递路径上。相位调制组件配置于第一光束或第二光束的传递路径上。合光组件配置于第一光束及第二光束的传递路径上,第一光束及第二光束传递至合光组件以形成干涉光束。感光组件配置于干涉光束的传递路径上,用于接收干涉光束以产生光学信号。
技术领域
本公开涉及一种全息式显微镜及其使用方法。
背景技术
一般而言,传统全息式显微镜多采用机械式方法改变光学系统中参考光或测量光的光程差,进而调整干涉条纹,以解出待测物光程、深度等信息。然而,使用机械式方法的移动器件调制,容易对系统与待测物产生震动噪声,进而降低显示质量。因此,如升良好的光学质量,是本领域所致力于行的。
发明内容
本公开提供一种全息式显微镜及其使用方法,可不需配置其他移动器件而调整样品光束与参考光束的相位差,进而通过高精准度的光学系统及演算获得良好的显示效果。
本公开提供一种全息式显微镜,用于观察待测样品。全息式显微镜包括光源、分光组件、偏光组件、相位调制组件、合光组件以及感光组件。光源用于提供照明光束。照明光束传递通过分光组件以形成第一光束以及第二光束,且待测样品配置于第一光束的传递路径上。偏光组件配置于第一光束或第二光束的传递路径上。相位调制组件配置于第一光束或第二光束的传递路径上。合光组件配置于第一光束及第二光束的传递路径上,第一光束及第二光束传递至合光组件以形成干涉光束。感光组件配置于干涉光束的传递路径上,用于接收干涉光束以产生光学信号。
本公开另提供一种全息式显微镜的使用方法,用于观察待测样品。全息式显微镜包括光源、分光组件、偏光组件、相位调制组件、合光组件以及感光组件。全息式显微镜的使用方法包括:提供照明光束至分光组件以形成第一光束以及第二光束的方法;传递第一光束及第二光束的其中一者通过偏光组件的方法;传递第一光束及第二光束的其中一者通过相位调制组件的方法;传递第一光束通过待测样品的方法;传递第一光束及第二光束至合光组件以形成干涉光束的方法;以及传递干涉光束至感光组件以产生光学信号的方法。
基于上述,在本公开的全息式显微镜中,光源提供照明光束至分光组件以产生第一光束以及第二光束,进而传递通过待测样品以在合光组件后产生干涉光束,通过感光组件感测并进行后续演算以得出显示画面。其中,光学系统中配置有偏光组件,以与分光组件配搭而达到光强度较强的光学效果。光学系统中另配置有相位调制组件,用于优化传统架构中的不稳定因素。如此一来,可不需配置其他移动器件而调整样品光束与参考光束的相位差,进而通过高精准度的光学系统及演算获得良好的显示效果。
为让本公开的上述特征和优点能更明显易懂,下文特举实施例,并配合附图作详细说明如下。
附图说明
图1为本公开实施例的全息式显微镜的示意图;
图2为图1的全息式显微镜的部份放大示意图;
图3为图1的全息式显微镜所产生的影像信号示意图;
图4为本公开另一实施例的全息式显微镜的示意图;
图5为本公开另一实施例的全息式显微镜的示意图;
图6为本公开另一实施例的全息式显微镜的示意图;
图7为本公开一实施例的全息式显微镜的使用步骤流程图。
附图标记说明:
50:待测样品;
100、100A、100B、100C:全息式显微镜;
105:反射组件;
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