[发明专利]一种多腔体图像采集处理微系统模块及制作方法

权利要求书

1.一种多腔体图像采集处理微系统模块，其特征在于，包括：第一腔体(27)、第二腔体(28)、第三腔体(29)、密封组件、壳体组件、信号处理单元、存储单元、数据缓存单元、可编程逻辑单元(11)、图像传感器(20)和高性能处理器(6)；

所述第一腔体(27)由散热盖板(12)与管壳(1)封闭而成；所述第二腔体(28)由密封组件、管壳(1)与可伐盖板(19)封闭而成；所述第三腔体(29)由管壳(1)、密封组件、玻璃盖板(21)与可伐盖板(19)封闭而成；

所述密封组件位于管壳(1)上；所述散热盖板(12)位于管壳(1)的一侧；

所述壳体组件位于第一腔体(27)内的管壳(1)一侧；

所述可编程逻辑单元(11)、高性能处理器(6)和数据缓存单元固定在壳体组件和散热盖板(12)之间；

所述信号处理单元和存储单元位于第二腔体(28)内的管壳(1)一侧，所述图像传感器(20)固定在可伐盖板(19)上，所述玻璃盖板(21)与可伐盖板(19)均由密封组件固定在管壳(1)上。

2.根据权利要求1所述的多腔体图像采集处理微系统模块，其特征在于，所述壳体组件包括第一基板(7)和第二基板(26)；所述数据缓存单元包括第一数据缓存器(10)和第二数据缓存器(23)；

所述可编程逻辑单元(11)和第一数据缓存器(10)位于第一基板(7)上，所述高性能处理器(6)和第二数据缓存器(23)位于第二基板(26)上；

所述第一基板(7)和第二基板(26)均为2.5D TSV硅基板。

3.根据权利要求2所述的多腔体图像采集处理微系统模块，其特征在于，还包括第一滤波电容(5)、第一匹配电阻(4)、第二滤波电容(25)和第二匹配电阻(24)；所述第一滤波电容(5)和第一匹配电阻(4)位于第一腔体(27)内的管壳(1)一侧；

所述第二滤波电容(25)和第二匹配电阻(24)位于第二腔体(28)内的管壳(1)一侧。

4.根据权利要求3所述的多腔体图像采集处理微系统模块，其特征在于，所述信号处理单元包括信号调理电路(14)、信号采集电路(16)和刷新电路、配置电路；所述存储单元包括程序存储单元和数据存储单元(17)；所述信号调理电路(14)、信号采集电路(16)、刷新电路、配置电路、程序存储单元和数据存储单元(17)位于第二腔体(28)内的管壳(1)一侧；

所述密封组件包括内圈封焊环(3)和外圈封焊环(2)，所述玻璃盖板(21)与可伐盖板(19)均由密封组件固定在管壳(1)上，具体为：所述玻璃盖板(21)通过外圈封焊环(2)固定在管壳(1)上；所述可伐盖板(19)通过内圈封焊环(3)固定在管壳(1)上。

5.根据权利要求4所述的多腔体图像采集处理微系统模块，其特征在于，还包括数据存储器(30)、硅垫片(18)和粘接剂(13)；所述数据存储器(30)和硅垫片(18)均为若干个；所述数据存储单元(17)由若干个硅垫片(18)与若干个数据存储器(30)通过粘接剂(13)依次固定连接而成；

还包括支撑柱(22)；所述支撑柱(22)用于支撑管壳(1)；支撑柱(22)为Sn₁₀Pb₉₀合金焊柱。

6.根据权利要求5所述的多腔体图像采集处理微系统模块，其特征在于，所述信号调理电路(14)、信号采集电路(16)、刷新电路、配置电路、程序存储单元、数据存储单元(17)通过粘接剂(13)固定在第二腔体(28)内的管壳(1)一侧；所述图像传感器(20)通过粘接剂(13)粘接到可伐盖板(19)上，玻璃盖板(21)通过粘接剂(13)粘接到外圈封焊环(2)上；

所述玻璃盖板(21)为蓝宝石玻璃盖板。