[发明专利]一种微型FP腔窄带滤波器制作方法

权利要求书

1.一种微型FP腔窄带滤波器制作方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、将两个单光纤准直器之一悬空于基板左端并与基板固定连接，另一悬空于基板右端并与左端的单光纤准直器呈左右相对设置；

S2、室温情况下，将两个单光纤准直器中任一输入波长为1550nm光源，另一接入到功率计监控插入损耗IL，微调右端的单光纤准直器，直至插入损耗IL≥-0.3dB；

S3、将FP腔滤波片悬空于两个单光纤准直器之间，并监控IL；

S4、多次调节输入光源的波长并配合微调FP腔滤波片角度或者多次调节输入光源的波长并配合微调FP腔滤波片角度和右端的单光纤准直器，当IL≥-1.0dB时，且计算出最接近1550nm处的波峰-3dB的线宽在27~29pm时，IL和线宽满足要求；

S5、将FP腔滤波片和右端的单光纤准直器与基板固定连接；

在S4中多次调节输入光源的波长并配合微调FP腔滤波片角度的具体步骤为：

控制输入的波长为{1550＋（N-1）X}nm，其中，N为一级次数，N≥1，X为一级增幅，X≥0.01，每一次波长时都微调FP腔滤波片的倾斜角度，并监控每次的IL,找到该波长时最大IL,并计算出最大IL时该波长-3dB的线宽，当出现第N+1次时的最大IL小于第N次的最大IL时，

若第N次时IL≥-1.0dB，表明第N次时的波长满足要求，若计算出第N次时波长-3dB的线宽在27~29pm范围内时，则线宽也满足要求；

若第N次时IL＜-1.0dB，表明第N次时的波长不满足要求，则以第N次的波长{1550＋（N-1）X}nm为基数，并依次加上MYnm，其中，M为二级次数，M≥1，Y为二级增幅，0.001≤Y＜0.01，每一次波长时都微调FP腔滤波片的倾斜角度，并监控每次的IL,找到该波长时最大IL，直至IL≥-1.0dB，表明第M次时的波长满足要求，若计算出第M次时波长-3dB的线宽在27~29pm范围内时，则线宽也满足要求。

2.根据权利要求1所述的一种微型FP腔窄带滤波器制作方法，其特征在于，若计算出第M次时波长-3dB的线宽不在27~29pm范围内时，则线宽不满足要求，则调节基板右端的单光纤准直器，直至IL≥-1.0dB时并且第M次时波长-3dB的线宽在27~29pm范围内。

3.根据权利要求1所述的一种微型FP腔窄带滤波器制作方法，其特征在于，步骤S1中左端的单光纤准直器与基板的固定步骤包括：将该单光纤准直器悬空于基板左端中部上方125~250um，并且其玻璃管尾部露出基板左侧的长度为其总长度的1/5~1/2，采用双固化胶将该单光纤准直器与基板连接并进行紫外固化。

4.根据权利要求3所述的一种微型FP腔窄带滤波器制作方法，其特征在于，左端的单光纤准直器与基板紫外固化后，将基板放进烤箱进行热固化。

5.根据权利要求1所述的一种微型FP腔窄带滤波器制作方法，其特征在于，步骤S5中FP腔滤波片和右端的单光纤准直器与基板的固定步骤包括：采用双固化胶将该FP腔滤波片、单光纤准直器与基板连接并进行紫外固化。

6.根据权利要求5所述的一种微型FP腔窄带滤波器制作方法，其特征在于，步骤S5中FP腔滤波片与基板紫外固化后，将基板放入烤箱进行热固化。

7.根据权利要求1所述的一种微型FP腔窄带滤波器制作方法，其特征在于，所述X的范围为：0.01≤X≤0.1。

8.根据权利要求7所述的一种微型FP腔窄带滤波器制作方法，其特征在于，所述X为：0.05，所述Y为：0.002。

9.根据权利要求1所述的一种微型FP腔窄带滤波器制作方法，其特征在于，所述基板为陶瓷基板。