[发明专利]一种防止打线后球薄的方法在审
申请号: | 202210065735.7 | 申请日: | 2022-01-20 |
公开(公告)号: | CN114420580A | 公开(公告)日: | 2022-04-29 |
发明(设计)人: | 田松;杨聪滨 | 申请(专利权)人: | 无锡嘉硕科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/607 | 分类号: | H01L21/607;H01L21/60 |
代理公司: | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人: | 孙建 |
地址: | 214106 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 防止 打线后球薄 方法 | ||
本发明公开一种防止打线后球薄的方法,涉及金线压焊技术领域。本发明公开的防止打线后球薄的方法的步骤为:S1贴胶带;S2种晶及目检;S3烘烤硬化;S4产品表面N2吹尘;S5吹尘目检;S6等离子清洗;S7打线;S8芯片表面N2吹尘;S9产品检测。本发明提供了一种防止打线后球薄的方法,该工艺流程简单,操作方便,大大降低了金线压焊过程中的断线不良率和打线不良率,并防止打线后出现球薄的问题,提高了产品的生产效率,降低了生产成本。
技术领域
本发明属于金线压焊技术领域,尤其涉及一种防止打线后球薄的方法。
背景技术
打线工艺主要是对金线进行压焊的过程,在焊头到达烧球高度后,利用线夹关闭固定金线,通过放电器高压放电由打火杆将金线前段烧结成金球,使用白色陶瓷材料制成的打线磁嘴,将金球压焊至晶粒及基板固定位置,完成整个打线的过程。
在实际的打线过程中,用于固定产品的胶带板因环境(水气、光照等)、停滞时间长、异物的附着等影响因素,而导致胶带固定产品的粘性变差,致使打线时产品会被带起来,从而会使打出来的金丝球发生球薄风险,进而影响基板的金球焊接质量。打线过程中,可能发生线未完全切断,靠拉力把线拉断,将产品带起,导致产品位置异常报警上升,断线不良品变多;尾线回抽过程中也会导致产品带起来,导致产品的不良品较多,影响生产成本和生产效率。
发明内容
本发明的主要目的是提供一种防止打线后球薄的方法,该工艺流程简单,操作方便,大大降低了金线压焊过程中的断线不良率和打线不良率,并防止打线后出现球薄的问题,提高了产品的生产效率,降低了生产成本。
为了实现本发明的目的,本发明提供了一种防止打线后球薄的方法,具体包括以下步骤:
S1.贴胶带:将耐高温树脂胶带贴附于胶带板的一面,将陶瓷基座固定于有耐高温树脂胶带的胶带板面;
S2.种晶及目检:将切割后的晶粒利用胶水固定在陶瓷基座上,然后使用显微镜目检,将种晶生产过程中产生的不良品选出报废;
S3.烘烤硬化:将种晶后的承载板在高温状态下硬化,将晶粒与陶瓷基座固定在一起,并且控制好步骤S1贴胶带到烘烤前的时间,即打线承载板前处理时间,使打线承载板前处理时间控制在2-4h;
S4.产品表面N2吹尘:使用氮气去除晶粒与陶瓷基座结合后的半成品表面的微粒;
S5.吹尘目检:将上述制得的半成品进行显微镜目检,挑出的不良品进行报废;
S6.等离子清洗:对上述制得的半成品表面进行等离子电浆清洁,方便后续打线;
S7.打线:利用超声能源,使用金线将芯片与陶瓷基座连接,完成微电子器件中固态电路内部互连接线的连接,即:打火杆放电烧出金球,在第一焊点处使用超声波使金线与芯片连接;然后瓷嘴通过上拉金线至第二焊点位置,线夹张开,瓷嘴连同金线整个瓷嘴下压至陶瓷基座打线平台,超声波工作,瓷嘴在陶瓷基座上停留时间为30ms,金线自行断开;若金线未断开,则需要线夹再次关闭上拉时把金线(这里也可以指尾线)拉断,该尾线(金线)回抽速度为3mm/s。若尾线上拉速度过快会导致陶瓷基座与胶带有剥离的风险,最终导致断线风险。
S8.芯片表面N2吹尘:使用氮气去除打线时在芯片表面产生的微粒;
S9.产品检测:将打线过程中产生的不良品挑出报废。
进一步的,所述步骤S3中的打线基板前处理时间控制的方法为:贴好胶带后进行时间管控,只备1批胶带板,即生产时再准备胶带板,使每批的胶带板在贴胶带后到烘烤前的时间控制在2-4h。
本发明取得了以下有益效果:
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造