[发明专利]一种防止打线后球薄的方法在审

专利信息
申请号: 202210065735.7 申请日: 2022-01-20
公开(公告)号: CN114420580A 公开(公告)日: 2022-04-29
发明(设计)人: 田松;杨聪滨 申请(专利权)人: 无锡嘉硕科技有限公司
主分类号: H01L21/607 分类号: H01L21/607;H01L21/60
代理公司: 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 代理人: 孙建
地址: 214106 江苏省无锡*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 防止 打线后球薄 方法
【说明书】:

发明公开一种防止打线后球薄的方法,涉及金线压焊技术领域。本发明公开的防止打线后球薄的方法的步骤为:S1贴胶带;S2种晶及目检;S3烘烤硬化;S4产品表面N2吹尘;S5吹尘目检;S6等离子清洗;S7打线;S8芯片表面N2吹尘;S9产品检测。本发明提供了一种防止打线后球薄的方法,该工艺流程简单,操作方便,大大降低了金线压焊过程中的断线不良率和打线不良率,并防止打线后出现球薄的问题,提高了产品的生产效率,降低了生产成本。

技术领域

本发明属于金线压焊技术领域,尤其涉及一种防止打线后球薄的方法。

背景技术

打线工艺主要是对金线进行压焊的过程,在焊头到达烧球高度后,利用线夹关闭固定金线,通过放电器高压放电由打火杆将金线前段烧结成金球,使用白色陶瓷材料制成的打线磁嘴,将金球压焊至晶粒及基板固定位置,完成整个打线的过程。

在实际的打线过程中,用于固定产品的胶带板因环境(水气、光照等)、停滞时间长、异物的附着等影响因素,而导致胶带固定产品的粘性变差,致使打线时产品会被带起来,从而会使打出来的金丝球发生球薄风险,进而影响基板的金球焊接质量。打线过程中,可能发生线未完全切断,靠拉力把线拉断,将产品带起,导致产品位置异常报警上升,断线不良品变多;尾线回抽过程中也会导致产品带起来,导致产品的不良品较多,影响生产成本和生产效率。

发明内容

本发明的主要目的是提供一种防止打线后球薄的方法,该工艺流程简单,操作方便,大大降低了金线压焊过程中的断线不良率和打线不良率,并防止打线后出现球薄的问题,提高了产品的生产效率,降低了生产成本。

为了实现本发明的目的,本发明提供了一种防止打线后球薄的方法,具体包括以下步骤:

S1.贴胶带:将耐高温树脂胶带贴附于胶带板的一面,将陶瓷基座固定于有耐高温树脂胶带的胶带板面;

S2.种晶及目检:将切割后的晶粒利用胶水固定在陶瓷基座上,然后使用显微镜目检,将种晶生产过程中产生的不良品选出报废;

S3.烘烤硬化:将种晶后的承载板在高温状态下硬化,将晶粒与陶瓷基座固定在一起,并且控制好步骤S1贴胶带到烘烤前的时间,即打线承载板前处理时间,使打线承载板前处理时间控制在2-4h;

S4.产品表面N2吹尘:使用氮气去除晶粒与陶瓷基座结合后的半成品表面的微粒;

S5.吹尘目检:将上述制得的半成品进行显微镜目检,挑出的不良品进行报废;

S6.等离子清洗:对上述制得的半成品表面进行等离子电浆清洁,方便后续打线;

S7.打线:利用超声能源,使用金线将芯片与陶瓷基座连接,完成微电子器件中固态电路内部互连接线的连接,即:打火杆放电烧出金球,在第一焊点处使用超声波使金线与芯片连接;然后瓷嘴通过上拉金线至第二焊点位置,线夹张开,瓷嘴连同金线整个瓷嘴下压至陶瓷基座打线平台,超声波工作,瓷嘴在陶瓷基座上停留时间为30ms,金线自行断开;若金线未断开,则需要线夹再次关闭上拉时把金线(这里也可以指尾线)拉断,该尾线(金线)回抽速度为3mm/s。若尾线上拉速度过快会导致陶瓷基座与胶带有剥离的风险,最终导致断线风险。

S8.芯片表面N2吹尘:使用氮气去除打线时在芯片表面产生的微粒;

S9.产品检测:将打线过程中产生的不良品挑出报废。

进一步的,所述步骤S3中的打线基板前处理时间控制的方法为:贴好胶带后进行时间管控,只备1批胶带板,即生产时再准备胶带板,使每批的胶带板在贴胶带后到烘烤前的时间控制在2-4h。

本发明取得了以下有益效果:

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