[发明专利]废气处理效率调整方法及废气处理设备

说明书

本发明涉及废气处理技术领域，本发明提供一种废气处理效率调整方法及废气处理设备。废气处理效率调整方法包括：获取废气处理设备的进气口气体流量、出气口气体流量、目标物质的进气浓度、目标物质的出气浓度以及目标物质的出气浓度和目标物质的进气浓度的浓度比值；确定调节系数为出气口气体流量与进气口气体流量的比值；根据浓度比值与调节系数之积，确定目标物质的计算处理效率；获取目标物质的目标处理效率，确定目标物质的计算处理效率低于目标物质的目标处理效率；控制目标物质的出气浓度减小和/或控制调节系数变小。本发明提供的废气处理效率调整方法，通过调节系数来调整计算处理效率的计算，以使废气处理效果满足实际处理效果的要求。

技术领域

本发明涉及废气处理技术领域，尤其涉及一种废气处理效率调整方法及废气处理设备。

背景技术

工业生产过程中，会产生废气，废气需要通过废气处理设备进行处理，以满足气体排放要求。

其中，泛半导体行业的生产过程中，大量使用化学品和特殊气体，生产环节持续产生大量有毒有害气体的工艺废气。工艺废气需要与生产工艺同步进行收集、治理和排放，废气处理系统及设备是生产工艺不可分割的组成部分，其安全稳定性直接关系到产能利用率、产品良率、工人职业健康及生态环境。故在生产线上(如8英寸、12英寸晶圆生产线)都已经用废气处理设备来处理产线各个工艺产生的废气。

当前，为满足废气处理设备的废气处理效率的要求，需要对废气处理设备的参数进行调节，但通过采样分析直接得出的废气处理效率与实际处理效率有差距，废气处理效果难以满足实际处理效果的要求。

发明内容

本发明提供一种废气处理效率调整方法，用以解决现有技术中废气处理效果难以满足实际处理效果的要求的缺陷，通过引入调节系数来调整废气处理的计算处理效率的计算，使得计算得到的计算处理效率更接近实际处理效率，以使废气处理效果满足实际处理效果的要求。

本发明提供一种废气处理效率调整方法，包括：

获取废气处理设备的进气口气体流量、出气口气体流量、目标物质的进气浓度、目标物质的出气浓度以及所述目标物质的出气浓度和所述目标物质的进气浓度的浓度比值；

确定调节系数，其中，所述调节系数为所述出气口气体流量与所述进气口气体流量的比值；

根据所述浓度比值与所述调节系数之积，确定目标物质的计算处理效率；

获取目标物质的目标处理效率，确定所述目标物质的计算处理效率低于所述目标物质的目标处理效率；

控制所述目标物质的出气浓度减小和/或控制所述调节系数变小。

根据本发明提供的一种废气处理效率调整方法，所述获取废气处理设备的出气口气体流量的步骤包括，

获取进气口与出气口之间增加的辅助气体的进气气体流量，确定所述出气口气体流量为所述辅助气体的进气气体流量与所述进气口气体流量之和。

根据本发明提供的一种废气处理效率调整方法，所述获取进气口与出气口之间增加的辅助气体的进气气体流量的步骤包括，

获取通入所述废气处理设备的所述辅助气体的进气流量以及所述辅助气体中参与反应后减少的反应气体流量，获取所述辅助气体的进气流量与所述反应气体流量的差值，所述辅助气体的进气气体流量为所述差值。

根据本发明提供的一种废气处理效率调整方法，所述控制所述调节系数变小的步骤中，

控制所述辅助气体的进气气体流量减小，和/或，控制进气口气体流量增大。

根据本发明提供的一种废气处理效率调整方法，所述废气为半导体制程废气，控制进气口通入的氮气气体流量增大。